[实用新型]一种靶材箱

说明书

本实用新型实施例提供了一种靶材箱，该靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。本实用新型实施例提供的靶材箱，能够解决在运输过程中因真空薄膜破裂而造成靶材被氧化的问题。

技术领域

本实用新型涉及靶材运输的技术领域，尤其涉及一种靶材箱。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

为防止靶材在运输或者储藏的过程中发生变形或者发生氧化，需要对靶材进行真空保护，在相关技术中，先将靶材盛装于真空薄膜中，并抽真空，再将该真空薄膜与靶材一同收纳于靶材箱中，达到防止靶材在运输过程中发生变形或者发生氧化的效果。

但是，这将造成对真空薄膜的浪费，且在运输或者储藏的过程中，若真空薄膜破裂，将造成靶材被氧化。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种靶材箱，以解决在运输过程中因真空薄膜破裂而造成靶材被氧化的问题。

为解决以上技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种靶材箱，所述靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；

所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还设置有透明的视窗，所述视窗用于观察所述靶材箱内的靶材。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还开设有第二气孔，用于向呈真空状态的所述靶材箱内通入气体，以便于打开所述靶材箱。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还设置有压力表，所述压力表用于指示所述靶材箱内的真空压力。

可选的，所述箱体或所述箱盖上还穿设有可转动的螺丝杆，所述螺丝杆伸入所述靶材箱内的一端设置有弹性块，所述螺丝杆转动时带动所述弹性块在所述靶材箱内移动，以使弹性块能够对所述靶材箱内的靶材进行固定。

可选的，所述箱体的底部还设置有至少四个转动轮。

可选的，所述箱盖的顶部还设置有与所述至少四个转动轮一一匹配的至少四个凹槽，其中，在多个靶材箱叠放时，上方的靶材箱的转动轮卡设于下方的靶材箱的凹槽内。

可选的，所述靶材箱还包括：

设置于所述箱体和/或箱盖上的拉手。

可选的，所述箱体和所述箱盖通过转轴转动连接。

可选的，所述箱体和所述箱体上分别设置有匹配的锁止结构。

在本实用新型实施例中，通过设置带气孔的靶材箱，这样，在将靶材装入靶材箱之后，即可对靶材箱抽真空或者还可以在抽真空之后通入惰性气体，以使靶材在储存和整个运输过程中都处于稳定的无氧环境，避免氧气或者空气中的腐蚀气体氧化靶材。且靶材箱为密封的箱体结构，相较于相关技术中采用真空薄膜对靶材进行真空防护的结构，其结构可靠性更高，在运输或者存储过程中不易损坏。可见，本实用新型实施例能够解决现有技术中因真空薄膜容易破裂而导致靶材被氧化的问题。

附图说明