[实用新型]一种简易激光刻字测量工具有效
| 申请号： | 201821332200.7 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN208872192U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 曹泽域;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司;杭州中芯晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 顾兰芳 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量尺 刻度线 支撑板 限位块 圆形片 刻字 硅片 简易激光 测量 外围 垂直的 半导体加工技术 本实用新型 参数测量 上下设置 中心轴线 外轮廓 外圆周 亚克力 俯视 匹配 支撑 | ||
1.一种简易激光刻字测量工具，其特征在于，包括一用于支撑硅片的支撑板以及亚克力制成的测量尺，所述测量尺与所述支撑板上下设置；
所述支撑板的横截面面积小于所述测量尺的横截面面积；
所述测量尺是一与硅片的外轮廓相匹配的圆形片，所述圆形片的径向外围开设有两个V形槽，且两个V形槽的间隔角度为90°；
所述测量尺的外圆周上均匀分布有用于测量角度的刻度线，所述测量尺上还设有两个相互垂直的刻度线，两个相互垂直的刻度线的交点处于圆形片的中心轴线上；
还包括至少一个限位块，所有的限位块均与所述支撑板的径向外围相连，且所有的限位块还与测量尺的径向外围相连，所述限位块靠近支撑板的侧面为用于接触硅片侧的接触面。
2.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：两个相互垂直的刻度线的延伸方向分别朝向两个V形槽的尖端。
3.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述测量尺上设有两个定位框，两个定位框分别设置在靠近V形槽处，且两个V形槽的尖端分别指向两个定位框的中心。
4.根据权利要求3所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述定位框是刻设在所述测量尺上的长方体状凹槽，所述长方体状凹槽的开口向上。
5.根据权利要求3所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述定位框是矩形沟道，所述矩形沟道内涂覆有颜料层。
6.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：两个限位块与所述支撑板焊接相连；
两个限位块与所述测量尺插接。
7.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：两个限位块与所述支撑板焊接相连；
两个限位块与测量尺焊接相连。
8.根据权利要求1所述的一种简易激光刻字测量工具，其特征在于：所述支撑板的上表面覆盖有一陶瓷涂层。
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