[实用新型]真空装置

说明书

本实用新型公开了一种真空装置，包括真空泵组件、第一阀门、腔室、第二阀门和位于所述腔室内的传输机构，所述真空泵组件、第一阀门、腔室、第二阀门依次串联连接；所述真空泵组件用于对所述腔室抽真空，所述传输机构用于将待传输物体传入或者传出所述腔室。该真空装置可以实现待传输物体的真空保持和搬运，保证待传输物体在搬运、传输过程中始终保持真空，避免暴露大气对待传输物体造成表面氧化、氮化等；而且该真空装置灵活性强，可以与不同设备连接，从而实现待传输物体在不同设备间的真空传输。

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是指一种真空装置。

背景技术

一般来说，整机设备通过在传输平台上安装多个工艺腔室，以实现在不破坏真空的情况下，对硅片进行多道工艺实现，避免污染。当设备进行不同工艺开发时，需要增加一个工艺模块，为了实现不破真空，一种方式是将增加的工艺腔室与传输平台进行对接；另一个方法是将工艺模块的靶材、气源及对应管路进行更换，以降低研发成本。

在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

以上两种不破真空的方法会带来研发周期时间长、工艺匹配难度大等多种问题；但是，破真空搬运会导致工艺硅片被污染，影响实验结果。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种真空装置，以解决研发周期时间长、工艺匹配难度大的技术问题。

本实用新型实施例提供了一种真空装置，包括真空泵组件、第一阀门、腔室、第二阀门和位于所述腔室内的传输机构，所述真空泵组件、第一阀门、腔室、第二阀门依次串联连接；所述真空泵组件用于对所述腔室抽真空，所述传输机构用于将待传输物体传入或者传出所述腔室。

在本实用新型的一些实施例中，所述真空泵组件包括分别连接在管路两端的干泵、分子泵以及连接在所述管路上的压力检测机构，所述分子泵与所述第一阀门连接。

在本实用新型的一些实施例中，所述分子泵与所述第一阀门之间通过第一螺钉或者第一螺栓固定连接。

在本实用新型的一些实施例中，所述真空泵组件还包括连接在所述干泵与分子泵之间的第三阀门。

在本实用新型的一些实施例中，所述真空泵组件还包括连接在所述第三阀门与干泵之间的泄压阀。

在本实用新型的一些实施例中，所述真空装置还包括设置在所述腔室内的用于承载所述待传输物体的承载机构。

在本实用新型的一些实施例中，所述腔室包括上腔室和下腔室，所述上腔室和下腔室之间通过第一密封圈固定连接。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一阀门和腔室之间通过第二螺钉或者第二螺栓固定连接；和/或，

所述第二阀门和腔室通过第三螺钉或者第三螺栓固定连接。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一阀门与腔室之间还设置有第二密封圈；和/或，

所述第二阀门与腔室之间还设置有第三密封圈。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一阀门和/或第二阀门为隔离阀。

本实用新型实施例提供的真空装置可以实现待传输物体的真空保持和搬运，保证待传输物体在搬运、传输过程中始终保持真空，避免暴露大气对待传输物体造成表面氧化、氮化等；而且该真空装置灵活性强，可以与不同设备连接，从而实现待传输物体在不同设备间的真空传输，该真空装置不仅可以单独搬运，也可以集成到其他平台，并且可以在不同设备上单独调试，避免了由于工艺腔室不同而需要在传输平台上进行腔室装调及工艺匹配等问题，从而显著缩短了研发周期。另外，该真空装置采用低压电源保证持续工作，并具有重量轻、占地面积小、搬运灵活等优点。

附图说明