[实用新型]一种四氟化硅的纯化系统

权利要求书

1.一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：包括原料瓶组、冷凝器、第一吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、产品罐、膜压机、第二吸附器和产品瓶组；

所述原料瓶组的输出端连接于所述冷凝器的输入端；

所述冷凝器的输出端连接于所述第一吸附器的输入端；

所述第一吸附器的输出端连接于所述脱轻精馏塔的输入端；

所述脱轻精馏塔的输出端连接于所述脱重精馏塔的输入端；

所述脱重精馏塔的输出端连接于所述产品罐输入端；

所述产品罐的输出端连接于所述膜压机的输入端；

所述第二吸附器连接于所述膜压机；

所述膜压机的输出端连接于所述产品瓶组的输入端。

2.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：还包括脱轻再沸器、脱重再沸器、热水泵和加热水箱；

所述加热水箱的输出端连接于所述热水泵的输入端；

所述热水泵的输出端连接于所述脱轻再沸器的输入端和脱重再沸器的输入端；

所述脱轻再沸器的输出端和脱重再沸器的输出端连接于所述加热水箱的输入端；

所述脱轻再沸器和脱重再沸器分别与所述脱轻精馏塔和脱重精馏塔连接。

3.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：还包括原料吹扫瓶，所述原料吹扫瓶的输出端设有阀门，所述原料吹扫瓶的输出端与所述原料瓶组的输入端连接；

还包括产品吹扫瓶，所述产品吹扫瓶的输出端设有阀门，所述产品吹扫瓶的输出端与所述产品瓶组的输入端连接。

4.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：所述原料瓶组的输出端至少设有两级的调压阀。

5.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：还包括放空管、抽空管、吹扫管和洗涤管；

所述放空管用于放空纯化系统的管路；

所述抽空管用于抽空纯化系统的管路；

所述吹扫管用于吹扫纯化系统的管路；

所述洗涤管用于将纯化系统管路的废气排至洗涤塔。

6.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：至少包括两组所述原料瓶组，每组所述原料瓶组包括多个原料瓶；

每个所述原料瓶的输出端设有阀门。

7.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：至少包括两组产品瓶组，每组所述产品瓶组包括多个产品瓶；

每个所述产品瓶的输入端设有阀门。

8.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：所述产品瓶组的输入端设有气动阀。

9.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：还包括多个压力表，其设于纯化系统的管路。

10.根据权利要求1所述的一种四氟化硅的纯化系统，其特征在于：还包括多个质量流量控制器，其设于纯化系统的管路。