[实用新型]一种锗烷的充装配气系统

说明书

一种锗烷的充装配气系统，包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；进料管的输出端设有进料阀；汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；进料管的输出端连接于低温闪蒸罐的输入端，低温闪蒸罐的输出端连接于汽化器的输入端，汽化器的输出端连接于增压阀；出料管的输入端连接于低温闪蒸罐，出料管的输出端设有出料阀，出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；载气瓶组的输出端连接于产品瓶组的输入端；充装阀设于出料管，充装阀位于出料阀的输出端；配气阀设于载气瓶组的输出端。本实用新型的目的在于提出一种锗烷的充装配气系统，其能够安全高效地对锗烷进行充装配气。

技术领域

本实用新型涉及锗烷充装配气设备领域，尤其涉及一种锗烷的充装配气系统。

背景技术

锗烷是通式为GenH2n+2的一系列锗与氢的化合物的总称。一般来讲锗烷即指甲锗烷，常温下为有毒、易燃和无色的气体，分子式GeH4。

锗烷为无色、剧毒、可自燃、非腐蚀性气体。热稳定性差，160～180℃时锗烷缓慢氧化，大约在280℃就能检测到锗烷分解为锗和氢，在350℃锗烷几乎全部分解成单质锗和氢气；锗烷的自催化性很强，一旦分解形成了金属覆盖膜，就会急剧分解，故其分解爆炸危险性很高。锗烷一般通过化学还原法、电化学反应法、等离子合成法合成，在半导体工业上有重要的用途。

由于锗烷的热稳定性差，现有的充装配气系统在对锗烷进行充装配气时，容易发生危险的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种锗烷的充装配气系统，其能够安全高效地对锗烷进行充装配气。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种锗烷的充装配气系统，包括进料管、出料管、汽化部、充装阀、配气阀、产品瓶组和载气瓶组；

所述进料管的输出端设有进料阀；

所述汽化部包括低温闪蒸罐、汽化器和增压阀；

所述进料管的输出端连接于所述低温闪蒸罐的输入端，所述低温闪蒸罐的输出端连接于所述汽化器的输入端，所述汽化器的输出端连接于所述增压阀；

所述出料管的输入端连接于所述低温闪蒸罐，所述出料管的输出端设有出料阀，所述出料管的输出端连接于产品瓶组的输入端；

所述载气瓶组的输出端连接于所述产品瓶组的输入端；

所述充装阀设于所述出料管，所述充装阀位于所述出料阀的输出端；

所述配气阀设于所述载气瓶组的输出端。

进一步，还包括吹扫管，所述吹扫管设有吹扫阀；

所述吹扫管用于吹扫锗烷的充装配气系统的管路。

进一步，还包括抽空管，所述抽空管设有抽空阀；

所述抽空管用于抽空锗烷的充装配气系统的管路。

进一步，还包括排空管，所述排空管设有排空阀；

所述排空管用于排空锗烷的充装配气系统的管路。

进一步，还包括温度计，其设于所述低温闪蒸罐。

进一步，所述汽化部的数量至少为二。

进一步，所述产品瓶组包括多个产品瓶，每个所述产品瓶的输入端设有阀门。

进一步，所述载气瓶组包括多个载气瓶，每个所述载气瓶的输出端设有阀门。

进一步，还包括多个压力表，其设于锗烷的充装配气系统的管路；

每个所述压力表均串联有阀门。