[实用新型]一种真空泵的叶片结构有效

专利信息
申请号: 201821355376.4 申请日: 2018-08-22
公开(公告)号: CN208793268U 公开(公告)日: 2019-04-26
发明(设计)人: 陈泽芸;靳毅;邓高飞;黄鹏 申请(专利权)人: 四川九天真空科技有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D29/32;F04D29/38;F04D29/54;F04D29/66
代理公司: 成都嘉企源知识产权代理有限公司 51246 代理人: 胡林
地址: 637260 *** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 叶齿 真空泵 中心盘 动片 静片 叶片结构 逐渐减小 动片组 齿根 抽气 引风 本实用新型 多层动片 交替排列 平稳运行 气体分子 叶片振动 稳定度 齿端 多层 减小 均布 片组 叶片 应用 优化
【说明书】:

实用新型公开了一种真空泵的叶片结构,包括动片组和静片组,动片组包括多层动片,静片组包括多层静片,动片与静片依次交替排列,其特征在于:所述动片和静片均包括中心盘和叶齿;同一个动片或者静片中的叶齿均布在中心盘上,叶齿与中心盘相接的一端为齿根,远离中心盘的一端为齿端,沿齿根至齿端方向上叶齿的厚度逐渐减小,叶齿倾斜角度自上而下逐渐减小,在每一个叶齿的顶部连接有一个引风件;在真空泵进行抽气时,引风件的过渡可以降低气体分子与叶片叶齿的直接撞击,减小了叶片振动幅度,利于真空泵的平稳运行;同时,还对动片和静片的各项参数进行了最佳优化,使得真空泵在抽气速度及稳定度都得到了显著的提高,更加利于实际中的应用。

技术领域

本实用新型涉及一种真空泵,具体涉及一种真空泵的叶片结构。

背景技术

在做机械运动的各类真空泵中,分子泵是一种结构缜密,工艺要求高的泵,其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量, 使气体分子在钢体表面的运动方向上产生定向流动,从而达到抽气的目的。分子泵中的涡轮分子泵是由一系列动静相间的叶轮互相配合组成,每个叶轮的叶片与叶轮水平面成一定角度,动片和静片倾角方向相反,主轴带动叶轮在静止的定叶片间高速旋转,高速旋转的叶片将动量传递给气体分子并使其产生定向运动,实现抽气目的。

涡轮分子泵由多级叶列组成,转子与定子按次序交替排列;叶列的级数与压缩比有关;叶片的形状会同时影响抽速与压缩比,入口抽速大压缩比小,接近出口则相反。分子泵工作时吸入压力大多在1Pa以下,此时分子流状态下,分子间的平均自由行程大,与高速旋转的叶片之间的碰撞几率远高于分子之间的碰撞。因此高速旋转的叶片会使气体在外摩擦作用下,定向运动流向出口,产生抽气效果,转速越高,对抽气越有利;

在进行抽气时,气体分子定向运动流向出口,气体分子逐一经过叶片时,大部分的气体分子经过叶片之间的缝隙后继续往出口方向流动,但是还有一小部分的气体分子直接撞击在叶片的叶齿端面上,这一部分气体分子将会被反弹,损失了该部分气体分子的动能,降低了抽气的速度;同时,气体分子直接撞击在叶片叶齿的端面上会造成叶片的振动,易发生共振现象,影响了真空泵的稳定性,不利于真空泵的运行。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空泵的叶片结构,在真空泵进行抽气时,能够有效避免气体分子直接撞击在叶片叶齿的端面上,能够减小叶片振动幅度,利于真空泵的顺利运行;同时,本实用新型还对动片和静片的各项参数进行了最佳优化,使得真空泵在抽气速度及稳定度都得到了显著的提高,更加利于实际中的应用。

为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:

一种真空泵的叶片结构,包括动片组和静片组,动片组包括多层动片,静片组包括多层静片,动片与静片依次交替排列,其特征在于:所述动片和静片均包括中心盘和叶齿;同一个动片或者静片中的叶齿均布在中心盘上,叶齿与中心盘相接的一端为齿根,远离中心盘的一端为齿端,沿齿根至齿端方向上叶齿的厚度逐渐减小,叶齿倾斜角度自上而下逐渐减小,在每一个叶齿的顶部连接有一个引风件。

所述引风件包括底面、斜面和连接部,底面、斜面、连接部首尾连接,底面与叶齿的顶部连接,斜面与叶齿受风面相接,且斜面与叶齿受风面处于同一个平面上,斜面与连接部在连接处形成一条棱边。

所述动片还包括至少一个圆环,圆环穿过叶齿的齿端将叶齿进行固定。

所述同一个动片中的叶齿数量为28-44,叶齿厚为4-14mm,叶齿齿根厚1-2.4mm,叶齿长为36.5-59mm,叶齿倾斜角度为13-40°。

所述同一个静片中的叶齿数量为28-36,叶齿厚为3-8mm,叶齿齿根厚1-1.7mm,叶齿长为37-66mm,叶齿倾斜角度为13-40°。

所述动片有12层,所述静片有12层,动片和静片之间的间隙均为1.5mm。

与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:

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