[实用新型]减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置

说明书

本实用新型涉及一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置，包括镀膜夹具，固定基板上下双滚轮结构，机器人手臂吸盘；镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上。优点：1）镀膜基板夹具的内框粘贴特氟龙胶带，玻璃基板与镀膜基板夹具内框的摩擦力增大，便于分离，控制腔体破片的发生率。2）调整清洗显影机的固定基板上下双滚轮间隙，基板通过时平稳，受滚轮挤压力减小，降低边缘月牙形破片发生率。3）搬送机器人吸盘采用O型圈，与基板摩擦力增大，运动中基板位置精度不受影响，不进行真空吸附。4）基本通用于所有平版制造厂，改造实施前实施后破片数减少60%，经济效益明显。

技术领域

本实用新型是一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置，属于平板显示设备技术领域。

背景技术

彩色滤光片制作，是在厚度为0.4-0.7mm、大小约为1800mm*1500mm的玻璃基板上进行清洗，光刻，镀膜等工艺制作，最后制作成为液晶屏幕；包括如下流程：

素玻璃基板拆包投入产线→基板外观检查→黑色边框光刻工艺制作→RGB光刻工艺制作→镀镍工艺制作→Photo Spacer光刻工艺制作→最终检查→成品捆包。

在搬送，制作过程中，基板的震动，碰撞，挤压，真空，加热，清洗经常造成基板的破片；破片的损耗在彩色滤光片制造厂内品质良率中占很大的一部分；各厂对破片的管控尤为重视。

实际生产中，有以下三项最为突出的破片发生率原因：

1、镀膜夹具：基板溅镀作业完成后进行破真空时，由于腔体与外界气压相差很大，极易发生破片；作业完成，机器人从夹具上取玻璃时，由于玻璃和基板和夹具内框静电吸附在一起，吸力较大，机器人取片时边角吸附力过大而导致边角破片；

2、清洗显影机固定基板：清洗显影机固定基板上下滚轮的间距难以精确调整，过松不容易压住玻璃基板，容易发生抖动；过紧玻璃基板容易受到挤压，边缘受力导致破片；

3、搬送机器人手臂吸盘：吸盘经过一段时间的使用，受到光阻升华物的影响，会有一定的黏性，破真空时不能完全破真空，放置玻璃基板时基板的位置会带偏，导致基板破片。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置，其目的在于针对现有彩色滤光片制造工艺中镀膜夹具、清洗显影机固定基板和机器人搬送这些流程中玻璃基板较容易破片的缺陷，通过改进镀膜夹具、固定基板上下双滚轮结构和机器人手臂吸盘的结构，提出了一种减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置。

本实用新型的技术解决方案：减少彩色滤光片制造厂内防玻璃基板破片的装置，包括镀膜夹具；固定基板上下双滚轮结构；机器人手臂吸盘；

所述镀膜夹具包括玻璃内框、特氟龙胶带和基板镀膜夹具，所述玻璃内框通过特氟龙胶带粘贴在基板镀膜夹具上。

所述固定基板上下双滚轮结构包括上滚轮、改造垫片、固定螺丝、下滚轮和玻璃基板，其中，所述上滚轮安装在上滚轮基座上，下滚轮安装在下滚轮基座上，上滚轮基座和下滚轮基座通过固定螺丝连接，改造垫片安装于上滚轮基座和下滚轮基座连接处，增大上、下双滚轮间的间隙。

所述机器人手臂吸盘包括机器人手臂、吸盘和玻璃基板，其中，所述机器人手臂上设有四齿叉，四齿叉上安装有多个吸盘，吸盘吸附玻璃基板进行搬运，所述吸盘为塑胶O型圈。

本实用新型的有益效果：

1）镀膜基板夹具的内框粘贴特氟龙胶带，使玻璃基板与镀膜基板夹具内框的摩擦力增大，便于分离，从而有效的控制了腔体破片的发生率。

2）调整清洗显影机的固定基板上下双滚轮间隙，使基板通过时平稳，受滚轮挤压力减小，降低了边缘月牙形破片的发生率。