[实用新型]一种六工位排气台设备有效
| 申请号： | 201821359180.2 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN208690200U | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王炳;唐天权;颜加润 | 申请（专利权）人： | 爱克斯瑞真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 赵晓芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区越溪街*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子泵 六工位 加工位 排气台 主机架 烘箱 本实用新型 机械泵 排气 电控系统 工作效率 集成安装 监控真空 密封性能 设备空间 温度显示 系统监控 真空阀门 真空显示 低能耗 高真空 位置处 工作台 配合 | ||
1.一种六工位排气台设备，包括主机架(1)，其特征在于：所述主机架(1)上设置有工作台(2)，所述工作台(2)上对应设置有六组加工位(21)；所述主机架(1)上与加工位(21)对应的位置处设置有分子泵(22)以及与分子泵(22)连接的机械泵(23)，所述加工位(21)与分子泵(22)之间设置有真空阀门(24)。
2.根据权利要求1所述的一种六工位排气台设备，其特征在于：所述工作台(2)上还设置有能沿高度方向升降的烘箱(3)。
3.根据权利要求2所述的一种六工位排气台设备，其特征在于：所述主机架(1)上设置有伺服电机(11)以及与伺服电机(11)电机轴连接的传动轴(121)，所述主机架(1)上还包括与传动轴(121)传动连接的齿轮(12)，所述齿轮(12)上传动连接有链条(13)，所述链条(13)另一端传动连接在烘箱(3)上。
4.根据权利要求3所述的一种六工位排气台设备，其特征在于：所述链条(13)上设置有配重块(14)。
5.根据权利要求4所述的一种六工位排气台设备，其特征在于：所述工作台(2)上贴附有隔热锦(4)。
6.根据权利要求5所述的一种六工位排气台设备，其特征在于：所述主机架(1)朝向地面的一面设置有万向轮(15)和脚垫(16)，所述脚垫(16)铰接在主机架(1)上。
7.根据权利要求6所述的一种六工位排气台设备，其特征在于：所述主机架(1)上设置有用于限制烘箱(3)位置的限位块(17)。
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