[实用新型]一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组

说明书

本实用新型公开了一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组，所述高精度探针定位模组包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块、低倍光源检测模块、CCD图像传感器、和光路切换模块，所述光路切换模块包括光路切换机构，所述光路切换机构包括转动连接在探针检测盒内的切换连杆，驱动切换连杆转动的切换气缸以及被驱动连杆带动的遮挡板，所述遮挡板移动过程中分别对高倍光源模块和低倍光源模块进行遮挡，通过上述设置，使用时先利用低倍光源检测模块进行检测，当CCD图像传感器检测到探针卡位置后，控制切换气缸动作，带动遮挡板进行移动，切换至高倍光源检测模块，对探针位置进行精确定位，控制方便，检测效率高。

技术领域

本实用新型涉及芯片检测设备领域，特别涉及一种全自动探针检测台及其高精度探针定位模组。

背景技术

目前，公开号为CN104820181A的中国专利公开了一种封装晶圆阵列微探针全自动测试系统，包括运动平台、承片台、视觉模块、运动控制卡、探针卡模块、四线式线材测试机和电脑，其中，承片台、视觉模块以及探针卡模块安装在运动平台上，随着运动平台一起运动，运动控制卡控制运动平台的运动，探针卡模块与四线式线材测试机连接，电脑与运动控制卡以及四线式线材测试机连接。

这种探针测试系统的视觉模块仅能对待测封装晶圆进行位置检测，无法检测探针位置，而在对探针进行检测时，由于探针分布较多，对探针精确定位的高倍光源和镜头在初步定位探针卡位置时，获得探针影像的难度较高，定位效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高精度探针定位模组，其具有切换方便、检测效率高优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种探针定位模组，包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块，用于识别探针的精确位置坐标；

低倍光源检测模块，用于初步识别探针的位置坐标；

CCD图像传感器，将采集到图像转化为数字信号；

和光路切换模块，将高倍光源检测模块和光源检测模块与CCD图像传感器连接，所述光路切换模块包括光路切换机构，所述光路切换机构包括转动连接在探针检测盒内的切换连杆，驱动切换连杆转动的切换气缸以及被驱动连杆带动的遮挡板，所述遮挡板移动过程中分别对高倍光源模块和低倍光源模块进行遮挡。

通过采用上述技术方案，利用光路切换模块将高倍光源检测模块和低倍光源检测模块导向同一个CCD图像传感器，减小了探针定位模组对空间的占用；使用时先利用低倍光源检测模块进行检测，当CCD图像传感器检测到探针卡位置后，控制切换气缸动作，带动遮挡板进行移动，切换至高倍光源检测模块，对探针位置进行精确定位，控制方便，检测效率高。

进一步设置：所述光路切换机构包括固定于探针检测盒的遮光导向板，所述固定板上设置有分别通向高倍光源检测模块和低倍光源检测模块的两个通光孔，所述固定板分为上板和下板，所述上板上开设有牵引缺口，所述遮光导向板滑动连接于上板和下板之间，所述遮光导向板包括从牵引缺口中伸出的牵引板，所述牵引板在切换连杆的带动下分别对两个通光孔进行遮挡。

通过采用上述技术方案，驱动连杆通过对牵引板施力，使牵引板在牵引缺口处滑动，使遮光板分别遮挡不同的通光孔，固定板对遮光板的移动进行限位，提高遮光板在移动过程中的稳定性。

进一步设置：所述牵引板上设置有腰形牵引孔，所述切换连杆上设置有宽度与腰形牵引孔宽度相等的牵引柱。

通过采用上述技术方案，切换连杆在转动的过程中，会同时发生沿固定板长度方向和高度方向的移动，腰型孔的设置避免了牵引板对遮光板在厚度方向上的拉扯，结构合理。

进一步设置：所述探针检测盒内固定有与高倍电源检测模块电连接的切换检测开关，所述切换连杆上固定有触发切换检测开关的切换触发片。