[实用新型]一种全自动探针检测台及其移动标靶式探针定位模组

说明书

本实用新型公开了一种移动标靶式探针定位模组，包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块、低倍光源检测模块、CCD图像传感器、光路切换模块和标靶调节模块，所述标靶调节模块包括标靶固定座、滑动连接在标靶固定座上的对位标靶以及驱动对位标靶移动的驱动件，通过上述设置，标靶重量较轻，移动时采用驱动件移动即可，结构简单，并且镜头无需移动，探针检测模块的光路不会发生偏移，保证了光路的准确性，避免由于镜片的偏移造成测量不准的情况，保证了测量结果的准确性，本实用新型还公开了采用移动标靶式探针定位模组的全自动探针检测台。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测领域，特别涉及一种全自动探针检测台及其移动标靶式探针定位模组。

背景技术

目前，公开号为CN105097598B的中国专利公开了一种晶圆探针卡自动检测装置，通过观测平台和移动平台的结合，解决了手动对准探针针尖动作，自动检测探针好坏，使晶圆测试完全自动化，因为实现了全自动化，在测试过程中可以排除人为因素对测试结果造成的影响，防止人为的误操作发生。

这种晶圆探针卡自动检测装置的多个镜头进行旋转，而光学镜头的重量通常较大，转动过程中势能较大，转动惯性大，结构稳定性较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种移动标靶式探针定位模组，其具有结构稳定的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种移动标靶式探针定位模组，包括探针检测盒，所述探针检测盒上设置有高倍光源检测模块，用于识别探针的精确位置坐标；

低倍光源检测模块，用于初步识别探针的位置坐标；

CCD图像传感器，将采集到图像转化为数字信号；

光路切换模块，将高倍光源检测模块和低倍光源检测模块与CCD图像传感器连接；

和标靶调节模块，用于辅助定位，

所述标靶调节模块包括标靶固定座、滑动连接在标靶固定座上的对位标靶以及驱动对位标靶移动的驱动件。

通过采用上述技术方案，在使用时，先利用驱动件将对位标靶移动至低倍光源检测模块前，利用CCD图像传感器采集到探针卡图像后，移动对位标靶，并切换至高倍光源检测模块，检测探针的针尖位置，用于后续的定位测量；标靶重量较轻，移动时采用驱动件移动即可，结构简单，并且镜头无需移动，探针检测模块的光路不会发生偏移，保证了光路的准确性，避免由于镜片的偏移造成测量不准的情况，保证了测量结果的准确性。

进一步设置：所述驱动件为标靶驱动气缸，标靶驱动气缸运动过程中，对位标靶分别经过低倍光源检测模块和高倍光源检测模块前。

通过采用上述技术方案，利用标靶驱动气缸带动对位标靶移动，移动快捷，并且位置准确。

进一步设置：所述对位标靶包括滑动块和固定在滑动块上的靶体，所述靶体上设置有标记孔。

通过采用上述技术方案，对位标靶在使用过程中，标记孔分别达到低倍光源检测模块和高倍光源检测模块前，辅助进行定位，靶体与滑动块分别设置，在部分发生损坏时，可以进行更换，并且靶体和滑动块分体设置，在加工时更加方便。

进一步设置：所述标靶固定座上固定有滑动轨，所述滑动块上开有对应的滑槽。

通过采用上述技术方案，滑动轨和滑槽的结构设置简单，方便加工。

进一步设置：所述标靶驱动气缸设置于标靶固定座的侧面，所述靶体上设置有与标靶驱动气缸输出端连接的标靶驱动块。

通过采用上述技术方案，将标靶驱动气缸设置在标靶固定座的侧面，减小标靶调节模块在气缸长度方向上的尺寸，减小了探针检测模组的空间占用，结构更加紧凑。