[实用新型]一种激光器冷却循环系统

说明书

一种激光器冷却循环系统包括控制器、第一阀门、第二阀门、备用冷却管路、常用冷却管路；常用冷却管路包括第一冷却液容器、第一加压泵，第一冷却液容器与第一加压泵的输入端连接，第一加压泵与第一阀门连接；备用冷却管路包括第二加压泵，第二加压泵的输入端与自来水管连接，第二加压泵与第一阀门连接；第一阀门与激光器的散热管连接；第二阀门与激光器的散热管连接，第二阀门还与第一冷却液容器连接，第二阀门还与排水口连接。由于在冷却循环系统中采用备用冷却管路和常用冷却管路，使得在正常情况下可以使用常用管路对激光器进行冷却，而在维护作业或设备故障时可以采用备用冷却管路对激光器进行冷却，不影响激光器的生产工作。

技术领域

本申请涉及一种光学掩模版制造过程中所采用激光器的冷却循环系统。

背景技术

激光器在工作过程中，需要对其进行冷却。目前采用冰水机对激光器进行冷却，但对冰水机进行日常维护或出现故障时，因失去冷却系统不得不被迫停止激光器的运行，降低了生产效率。

发明内容

本申请提供一种激光器冷却循环系统，以提高生产效率。

根据第一方面，一种实施例中提供一种激光器冷却循环系统包括：控制器、第一阀门、第二阀门、备用冷却管路、常用冷却管路；所述常用冷却管路包括第一冷却液容器、第一加压泵，第一冷却液容器与第一加压泵的输入端连接，第一加压泵的输出端与第一阀门的第一输入端连接；所述备用冷却管路包括第二加压泵，第二加压泵的输入端与自来水管连接，第二加压泵的输出端与第一阀门的第二输入端连接；所述第一阀门的输出端与激光器散热管的输入端连接；所述第二阀门的输入端与激光器散热管的输出端连接，第二阀门的第一输出端与第一冷却液容器连接，第二阀门的第二输出端与排水口连接；所述控制器分别与第一加压泵、第二加压泵连接，用于控制第一加压泵和第二加压泵的开启和关闭；所述控制器还分别与第一阀门、第二阀门连接；用于控制第一阀门将第一加压泵的输出端与第一阀门的第一输入端连通或关断；用于控制第一阀门将第二加压泵的输出端与第一阀门的第二输入端连通或关断；用于控制第二阀门将第二阀门的第一输出端与第一冷却液容器连通或关断；用于将第二阀门的第二输出端与排水口连通或关断。

优选地，还包括二次冷却管路，二次冷却管路包括水塔散热器、第二冷却液容器、第三加压泵；所述常用冷却管路还包括热交换器，热交换器具有散热管和冷却管，热交换器的散热管连接在第一冷却液容器与第一加压泵之间；所述水塔散热器、第二冷却液容器、第三加压泵依次连接，热交换器的冷却管连接在第三加压泵与水塔散热器之间。

优选地，还包括第一压力表，第一压力表连接在第一加压泵输出端的管路上。

优选地，所述控制器与第一压力表连接，获取第一压力表的压力值，当第一压力表的压力值大于预设值时，控制器关闭第一加压泵，开启第二加压泵，同时将第二加压泵的输出端与第一阀门的第二输入端连通，将第一加压泵的输出端与第一阀门的第一输入端关断，将第二阀门的第一输出端与第一冷却液容器关断；将第二阀门的第二输出端与排水口连通。

优选地，所述控制器上设有复位键，该复位键被触发后，控制器(开启第一加压泵，将第一加压泵的输出端与第一阀门的第一输入端连通，将第二阀门的第一输出端与第一冷却液容器连通；控制器在第一加压泵开启后的预设时间后关闭第二加压泵，将第二加压泵的输出端与第一阀门的第二输入端关断。

依据上述实施例的激光器冷却循环系统，由于在冷却循环系统中采用备用冷却管路和常用冷却管路，使得可以在正常情况下使用常用管路对激光器进行冷却，而在维护作业或设备故障时，则可以采用备用冷却管路对激光器进行冷却。进一步，还包括二次冷却管路，采用二次冷却管路对常用冷却管路中的冷却液进行冷却，使整个冷却循环系统对激光器具有更好的冷却效果。

附图说明

图1为一实施例激光器冷却循环系统的结构示意图；

图2为另一实施例激光器冷却循环系统的结构示意图。