[实用新型]一种多功能综合COC老化测试箱

说明书

本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，尤其为一种多功能综合COC老化测试箱，包括箱体，箱体内下端设有固定板，固定板的下方设有电机，固定板的上方设有转轴，转轴上设有若干扇叶，扇叶的上方设有加热管，加热管的上方等距设有若干承托网，箱体内顶壁上设有氙灯。本实用新型结构合理，操作简单，解决了现有技术中的老化测试箱功能单一的问题，实现了一箱多用，既可以单独对被测器件在高温、高氧气浓度或光照条件下进行老化测试，也可以同时在高温、高氧气浓度和光照条件下对被测器件进行加速老化测试，节省了购买测试箱的成本，还能加快测试速度，节省测试时间，提高测试效率，并进一步提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，具体为一种多功能综合COC老化测试箱。

背景技术

集成电路(IC)芯片制造之后，在出厂之前必须进行老化测试，该测试通常是较高温度的环境下进行。老化测试可以加速芯片的老化，能够在制造生产过程中，尽早识别和放弃有缺陷的芯片。国家老化标准中规定，老化测试的目的是验证承受规定条件的器件在整个工作时间内的质量或可靠性。为了在短时间内或以较小的应力来获得正确结果，以确保器件以后能用于高可靠场合，必须用加速试验条件或足够大的样本来提供相应的失效概率。

最常见的老化测试一般都在老化测试箱内进行，但是现有技术中的老化测试箱的功能比较单一，如只有高温老化测试功能，或只有光照老化测试功能，或只有高氧气浓度老化测试功能，无法进行综合条件的老化测试，鉴于此，我们提出一种多功能综合COC老化测试箱。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多功能综合COC老化测试箱，以解决上述背景技术中提出的现有老化测试箱功能单一的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多功能综合COC老化测试箱，包括箱体，所述箱体内下端设有固定板，所述固定板的下方设有电机，所述固定板的上方设有转轴，所述转轴的下端贯穿所述固定板后与所述电机的输出轴轴连接，所述转轴上设有若干扇叶，所述扇叶的上方设有加热管，所述加热管的上方等距设有若干承托网，所述箱体内顶壁上设有氙灯；

所述箱体的左侧面上从上至下等距设有若干氧气浓度检测仪，所述箱体的右侧面上从上至下等距设有若干温度传感器，所述箱体的一侧面下端设有氧气进气口，所述箱体的顶端设有若干泄压孔，所述箱体的正面设有箱门，所述箱门上等距设有若干观察窗。

优选的，所述加热管呈S形，所述加热管水平设置于所述扇叶的正上方。

优选的，所述承托网固定在所述箱体的内壁上，所述承托网的网格孔径为0.5mm～10mm。

优选的，所述氙灯通过挂钩可拆卸地挂设在所述箱体内的顶壁上。

优选的，所述氧气浓度检测仪、所述温度传感器以及所述承托网的数量相等，且所述氧气浓度检测仪、所述温度传感器与所述承托网的位置一一对应。

优选的，所述氧气浓度检测仪的氧气检测探针贯穿所述箱体的左侧壁并延伸到所述承托网的上方。

优选的，所述温度传感器的温度检测探针贯穿所述箱体的右侧壁并延伸到所述承托网的上方。

优选的，所述观察窗的数量与所述承托网的数量相等，且所述观察窗与所述承托网的位置一一对应。

优选的，所述箱门的下端还设有把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型通过在箱体内下端设置加热管和风扇，在加热管上方设置若干承托网以形成多个测试腔，并在每个测试腔设置温度传感器，该测试箱可以作为一般的高温老化测试箱使用，既可以测试被测器件在不同温度下的老化情况，也可通过风扇将箱体内的高温进行循环混合，形成均匀的高温环境；