[实用新型]一种掩模版导轨片贴合装置

说明书

一种掩模版导轨片贴合装置，其包括第一面夹具和第二面夹具，所述第一面夹具与所述第二面夹具铰接；所述第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，各个第一位置调节旋钮相互配合以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定；所述第二面夹具设有至少两个校准标点，第二面夹具还设有驱动机构，驱动机构的运动端设有固定板，驱动机构用于驱动固定板来回运动；所述固定板用于装载导轨片；第一面夹具与第二面夹具合拢后，所述第二面夹具上的校准标点与掩膜版上的校准标点重合。由于在第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，调节第一位置调节旋钮可以将掩膜版上的校准标点与第二面夹具上的校准标点重合，提高粘贴精度。

技术领域

本申请涉及芯片制造技术领域，具体涉及一种掩模版导轨片贴合装置。

背景技术

掩膜版为一种由表面金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板，在曝光过程中这些图形文字等信息将被传递到芯片上。

导轨片是粘贴在掩膜版的玻璃面下方左右两角的两块金属片，用于掩膜版在半导体曝光机上的装载。

现有技术在将导轨片粘贴在掩膜版上后具有以下缺陷：

贴合位置精度低，难以达到用户的精度要求；

在贴合的过程中胶水容易将导轨片和夹具粘合，造成贴合失败；

贴合效率低。

发明内容

本申请提供一种掩模版导轨片贴合装置，以提高导轨片在掩膜版上的粘贴精度和效率。

根据第一方面，一种实施例中提供一种掩模版导轨片贴合装置，其包括：第一面夹具和第二面夹具，所述第一面夹具与所述第二面夹具铰接；所述第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，各个第一位置调节旋钮相互配合以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定；所述第二面夹具设有至少两个校准标点，第二面夹具还设有驱动机构，驱动机构的运动端设有固定板，驱动机构用于驱动固定板来回运动；所述固定板用于装载导轨片；第一面夹具与第二面夹具合拢后，所述第二面夹具上的校准标点与掩膜版上的校准标点重合。

优选地，所述固定板设有至少两个。

优选地，所述驱动机构为气缸或电机。

优选地，所述固定板上还设有吸气阀，固定板的凹槽底部设有空腔；吸气阀与空腔连通。

优选地，所述固定板上还设有第二位置调节旋钮，第二位置调节旋钮的作用在导轨片上，用于在凹槽内对导轨片的位置进行微调，使导轨片与凹槽内的校准点精准对位。

优选地，各个第一位置调节旋钮作用在掩膜版的边框上以调节掩膜版的位置并将掩膜版固定。

优选地，还包括CCD显示器，CCD显示器镜头的校准标点与掩膜版上的校准标点、第二面夹具上的校准标点在同一直线上。

优选地，所述CCD显示器镜头的校准标点为“十”字标的交叉点。

优选地，凹槽的深度小于导轨片的厚度，所述第一位置调节旋钮将掩膜版竖立固定于第一面夹具上，所述固定板的凹槽与掩膜版平行。

优选地，所述第二面夹具上的校准标点为“十”字标的交叉点。

依据上述实施例的掩模版导轨片贴合装置，由于在第一面夹具设有多个第一位置调节旋钮，调节第一位置调节旋钮可以使得掩膜版上的校准标点与第二面夹具上的校准标点重合，两个校准标点重合后，使得导轨片在驱动机构的带动下可以快速地贴在掩膜版上，且具有极高的粘贴精度。进一步，由于掩膜版竖立固定于第一面夹具上，而装载导轨片的凹槽与掩膜版平行，且凹槽的深度小于导轨片的厚度，在导轨片与掩膜版粘贴的过程中，如果涂在导轨片上的胶水过量，会因为重力的作用向下流，不会导致导轨片和固定板相互粘连。

附图说明