[实用新型]坩埚喷涂装置

说明书

本实用新型提供了一种坩埚喷涂装置，包括喷涂组件和多个保护组件，每一保护组件均包括下安装板、设于下安装板边缘的多个伸缩杆、套设于每个伸缩杆外的多个回位弹簧、设于伸缩杆上端的上安装板，以及设于上安装板和下安装板之间的行程开关，行程开关一端连接于下安装板，另一端连接于上安装板。上述坩埚喷涂装置，通过喷涂组件对坩埚进行喷涂，将供电电源通过多个保护组件后再与喷涂组件的电源开关连接，当喷涂组件出现异常时，作业人员只需立即站立在任意一个位于喷涂组件周围的保护组件上，因为重力的原因，相应的行程开关断开，导致喷涂组件断电，进而实现在喷涂组件发生异常时快速断电。

技术领域

本实用新型涉及晶体硅铸锭用坩埚处理技术领域，特别涉及一种坩埚喷涂装置。

背景技术

坩埚作为铸锭过程中不可或缺的一部分，在硅料熔化长晶生长过程发挥着重要作用，行业内都选择在坩埚表面喷涂一层致密的氮化硅涂层以阻隔硅锭和坩埚在铸锭过程中发生反应，降低氧含量，降低粘埚率，提高硅锭品质。

近两年，不少太阳能厂家采用机器人对坩埚进行喷涂，弥补了人工喷涂过程中存在的均匀性，致密性，牢固性不足的问题，机器人自动喷涂操作简单，工作效率高，且对员工工作环境有很大的改善，已成为太阳能行业多晶坩埚喷涂的趋势。

但是，采用机器人喷涂坩埚，因机器人喷涂为程序控制,喷涂过程中出现异常(伤人，撞枪，堵枪，漏液)时，未能使机器人及时停止，将造成严重后果，而在异常发生后，通常操作人员要跑到喷涂室去按下暂停或急停开关，及时性相对较低，如果发生伤人，撞枪等大的异常，将造成无法挽回的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种坩埚喷涂装置，以解决现有的坩埚喷涂装置在出现异常时无法及时停止工作的问题。

一种坩埚喷涂装置，包括喷涂组件和间隔设于所述喷涂组件四周的多个保护组件，每一所述保护组件均包括下安装板、设于下安装板边缘的多个伸缩杆、套设于每个所述伸缩杆外的多个回位弹簧、设于所述伸缩杆上端的上安装板，以及设于所述上安装板和所述下安装板之间的行程开关，所述行程开关一端连接于所述下安装板，另一端连接于所述上安装板，多个所述保护组件中所有的所述行程开关依次串联，并与所述喷涂组件的电源开关串联。

相较于现有技术，上述坩埚喷涂装置，通过喷涂组件对坩埚进行喷涂，将供电电源通过多个保护组件后在与喷涂组件的电源开关连接，当喷涂组件出现异常时，作业人员只需立即站立在任意一个位于喷涂组件周围的保护组件上，因为重力的原因，相应的行程开关断开，导致喷涂组件断电，进而实现在喷涂组件发生异常时快速断电。

进一步地，所述上安装板的上端设有一个防滑地毯。

进一步地，所述喷涂组件包括固定筒、设于所述固定筒上端的喷枪，以及与所述喷枪电性连接的电源开关，所述电源开关与多个所述行程开关串联。

进一步地，所述装置还包括一个底座，所述喷涂组件和所述保护组件均设于所述底座的上端，所述底座与每一所述保护组件对应的位置均设有一个安装槽。

进一步地，所述底座位于所述喷涂组件的外围设有危险区域涂层，所述保护组件设于所述危险区域涂层的外侧。

进一步地，所述上安装板的上端设有防滑凸纹。

进一步地，所述行程开关包括设于所述下安装板上的固定部和设于所述上安装板下端的移动部。

进一步地，所述保护组件还包括多个支撑柱，多个所述支撑柱间隔设于所述下安装板的上端，且所述支撑柱的高度大于所述支撑柱的高度。

进一步地，所述上安装板的下端设有多个限位柱，多个所述限位柱间隔设于所述上安装板的边缘，且所述限位柱的高度大于所述移动部的高度。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例中的坩埚喷涂装置的结构示意图；