[实用新型]一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201821408057.5 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN208316692U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 齐本胜;孙彬彬;蔡春华;华迪;谈俊燕 | 申请（专利权）人： | 河海大学常州校区 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 丁涛 |
| 地址： | 213022 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 压电堆 压电薄膜材料 薄膜体声波谐振器 声波 隔离层 声阻抗 碳纳米 下电极 体声波谐振器 质量负载效应 本实用新型 上电极材料 碳纳米材料 金属材料 电极材料 高频特性 金属电极 器件结构 声波谐振 外接电源 压电薄膜 压电材料 支撑薄膜 主体结构 调节层 压电性 衬底 隔开 失配 反射 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述谐振器从下至上依次包括衬底（1）、隔离层（2）和压电堆层，所述压电堆层包括下电极（3）、压电薄膜（4）、上电极（6），所述压电薄膜（4）设置在隔离层（2）上，压电薄膜（4）的底面的左端从外至内开设一个凹槽，凹槽不贯穿整个压电薄膜（4），凹槽用于下电极（3）的放置，下电极（3）的右端与压电薄膜（4）的端面齐平，所述上电极（6）设置在压电薄膜（4）的表面，上电极（6）的左端与压电薄膜（4）的端面齐平，所述压电薄膜（4）的上表面的右端从上至下开设一个通孔（5），通孔（5）底部延伸至下电极（3）的上表面，上电极（6）的右端未达到通孔（5）的孔口。
2.根据权利要求1所述的一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述隔离层（2）的材料为聚酰亚胺，厚度为4μm-10μm。
3.根据权利要求1所述的一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述下电极（3）为金属材料和上电极（6）的材料为碳纳米材料。
4.根据权利要求1所述的一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于：所述压电薄膜（4）的材料为ZnO、AlN中的一种。
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