[实用新型]一种晶托举升机构有效
申请号: | 201821411697.1 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN209350653U | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 李慧;刘强 | 申请(专利权)人: | 沈阳昊霖智能装备有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 王荣亮 |
地址: | 110141 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 举升气缸 举升托架 支撑立板 举升板 升降连接块 平整性 硅棒 晶托 举升 托举 粘接 种晶 底座 竖直向下布置 影响产品品质 滑块压板 生产效率 竖直布置 支撑滑块 固定端 两端部 伸缩端 伸缩 下端 摆放 保证 | ||
1.一种晶托举升机构,包括举升底座(1),其特征在于:所述举升底座(1)的中部设置有竖直布置的举升气缸(2),举升气缸(2)下部的固定端与举升底座(1)固定连接,举升气缸(2)上部的伸缩端设置有举升托架(3);所述举升托架(3)由水平布置的举升板(7)构成,举升板(7)中部的下侧设置有用于与举升气缸(2)伸缩端相连的升降连接块(8),升降连接块(8)的两侧、举升板(7)下侧的两端部,分别设置有竖直向下布置的支撑立板(9),支撑立板(9)的下端设置有滑块压板(10);所述举升托架(3)两侧支撑立板(9)的下方,分别设置有对称布置的支撑滑块(5)。
2.根据权利要求1所述的晶托举升机构,其特征在于:所述支撑滑块(5)由滑块主体(11)构成,滑块主体(11)的下部设置有支撑滑槽(12);支撑滑块(5)分别滑动设置在举升底座(1)两端布置的滑块伸缩导轨(4)上,且滑块伸缩导轨(4)的侧部设置有滑块驱动气缸(6),滑块驱动气缸(6)与滑块伸缩导轨(4)相平行布置;滑块驱动气缸(6)的固定端与举升底座(1)相连,滑块驱动气缸(6)的伸缩端则与各支撑滑块(5)的滑块主体(11)相连。
3.根据权利要求2所述的晶托举升机构,其特征在于:所述支撑滑块(5)的滑块主体(11)的侧部,设置有用于与滑块驱动气缸(6)伸缩端相连的伸缩连接弯板(13)。
4.根据权利要求2所述的晶托举升机构,其特征在于:所述支撑滑块(5)的滑块主体(11)与支撑立板(9)下端滑块压板(10)相接触的上侧,设置有若干层调节垫块。
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