[实用新型]长寿命免维护的紫外激光器

权利要求书

1.一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，包括：主光路机构、及连接主光路机构的第一电动位移平台；所述主光路机构包括泵浦源、聚焦组件、前端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、倍频组件、及尾端镜；所述泵浦源用于发出泵浦光；所述前端镜、所述转折镜及所述尾端镜组成激光谐振腔，所述激光晶体位于所述激光谐振腔内；所述激光晶体及所述调Q晶体设置在所述前端镜与所述转折镜之间；所述倍频组件包括三倍频晶体及二倍频晶体；所述三倍频晶体及所述二倍频晶体设置在所述转折镜与所述尾端镜之间；所述泵浦源发出的泵浦光经所述聚焦组件聚焦整形后，入射到所述激光晶体；泵浦光进入所述激光晶体后，在所述激光谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行控制与调制，得到在所述前端镜、所述转折镜、及所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光；在沿所述转折镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述三倍频晶体折射后，射入所述二倍频晶体内，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，最后部分532nm绿光和剩余未转化的1064nm脉冲光在所述三倍频晶体内进行和频，产生355nm紫外激光，所述三倍频晶体输出端采用布氏角切割，所述三倍频晶体的输出端将剩余的1064nm激光、532nm激光、355nm激光分开，剩余的1064nm激光沿原路返回，继续在所述激光谐振腔内工作；所述二倍频晶体及所述三倍频晶体安装在所述第一电动位移平台上，当所述倍频组件的通光点受损时，所述第一电动位移平台以平行所述三倍频晶体输出端端面的方向，带动所述二倍频晶体及所述三倍频晶体进行移动。

2.根据权利要求1所述的一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，所述第一电动位移平台包括第一驱动组件，第一驱动组件包括第一基座、安装在所述第一基座一侧的第一驱动电机、转动设置在所述第一基座中的第一传动丝杆、及连接所述第一传动丝杆的第一滑座；所述第一驱动电机的输出轴与所述第一传动丝杆的一端连接；当需要对所述倍频组件进行移动时，所述第一传动丝杆通过螺纹驱动所述第一滑座相对所述第一基座移动；所述第一传动丝杆的延伸方向与所述三倍频晶体输出端的端面平行；所述二倍频晶体及所述三倍频晶体安装在第一滑座上。

3.根据权利要求2所述的一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，所述第一电动位移平台还包括第二驱动组件，所述二倍频晶体及所述三倍频晶体通过所述第二驱动组件安装在所述第一滑座上，所述第二驱动组件包括连接所述第一滑座的第一引导架、安装在所述第一滑座上的第二驱动电机、连接所述第二驱动电机的第二传动丝杆、及滑动连接所述第一引导架的第一移动板；当需要对所述倍频组件进行移动时，所述第二传动丝杆通过螺纹驱动所述第一移动板相对所述第一引导架移动；所述第二传动丝杆的延伸方向与所述三倍频晶体输出端的端面平行。

4.根据权利要求1所述的一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，所述主光路机构还包括绿光挡光片，从所述三倍频晶体的输出端出射的532nm激光利用所述绿光挡光片阻挡。

5.根据权利要求1所述的一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，所述聚焦组件包括第一平凸透镜、及第二平凸透镜；所述第一平凸透镜及所述第二平凸透镜处于所述泵浦源与所述前端镜之间；所述第一平凸透镜的凸面与所述第二平凸透镜的凸面相对。

6.根据权利要求1所述的一种长寿命免维护的紫外激光器，其特征在于，还包括辅助光路机构及密封壳体，所述辅助光路机构包括扩束镜组件及窗口片，从所述三倍频晶体的输出端出射的355nm激光进入所述扩束镜组件进行扩束；所述主光路机构及所述扩束镜组件安装在所述密封壳体中，所述窗口片嵌设在所述密封壳体上，从所述扩束镜组件出射的355nm激光经所述窗口片射出所述密封壳体。