[实用新型]一种制作石英坩埚用石墨模具有效
| 申请号： | 201821413377.X | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN209024415U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 石刚;毛炳全 | 申请（专利权）人： | 浙江美晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C03B20/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴市上*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨模具 石英坩埚 本实用新型 陶瓷保护层 传统的 模具 模具本体 制作 单晶硅 表面粗糙度 高纯半导体 体内壁表面 顶部敞口 高温氧化 使用寿命 坩埚本体 石墨 弯曲部 侧壁 釜形 钢模 脱模 制备 裸露 引入 | ||
【权利要求书】：
1.一种制作石英坩埚用石墨模具，包括顶部敞口呈釜形的模具本体；其特征在于，所述模具本体包括侧壁、底部以及连接二者的弯曲部；所述模具本体内壁表面设有SiC陶瓷保护层。
2.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，所述SiC陶瓷保护层的厚度为2～5um。
3.根据权利要求1所述的模具，其特征在于，所述模具本体顶端外壁上设有一圈水平向外突出的外沿，用于握持。
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