[实用新型]一种单晶硅片检测机器人工作站有效
| 申请号： | 201821419520.6 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208713991U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 张涛川;段春梅;杨伟;李大成;李英杰;邓玮基;何柳彬;黄铠 | 申请（专利权）人： | 佛山职业技术学院 |
| 主分类号： | B25J9/12 | 分类号： | B25J9/12;B25J15/06 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 王国标 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 前臂 丝杆 转动电机 后臂 开槽 转盘 底座 检测机器人 单晶硅片 吸盘夹具 臂体 通孔 工作站 太阳能单晶硅片 啮合 本实用新型 上下贯通 水平转轮 呈柱状 固定的 齿轮 硅片 螺纹 可用 机器人 搬运 穿过 配合 生产 | ||
1.一种单晶硅片检测机器人工作站，其特征在于，包括：底座、主体、臂体和吸盘夹具，所述底座上设有转盘，所述主体呈柱状，所述主体固定的安装在所述转盘上，所述主体设有开槽，所述底座上设有竖直向上的丝杆，所述丝杆穿过所述转盘插入所述开槽中，所述主体的上部固定连接有第一转动电机，所述第一转动电机的转轴上设有与所述丝杆啮合的第一齿轮，所述开槽内设有用于引导臂体上下移动的导轨，所述臂体包括前臂和后臂，所述前臂的前端落入所述开槽内，所述前臂的前端内设有上下贯通的通孔，所述通孔内设有与所述丝杆相配合的螺纹，所述前臂的后端通过水平转轮与所述后臂的前端连接，所述后臂的后端与吸盘夹具连接，所述前臂上设有第二转动电机，所述第二转动电机用于带动水平转轮水平转动。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片检测机器人工作站，其特征在于，所述吸盘夹具包括：支架，所述支架与所述后臂的后端连接，所述支架设有至少一个吸盘结构，所述吸盘结构包括：缓冲弹簧、抽气管和吸盘组件，所述吸盘组件包括外盘和内盘，所述内盘位于所述外盘的中部，所述抽气管分别插入外盘和内盘中，所述缓冲弹簧的一端与外盘的盘底固定连接，所述缓冲弹簧的另一端与支架固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片检测机器人工作站，其特征在于，所述外盘和内盘均呈波纹管状。
4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片检测机器人工作站，其特征在于，所述外盘和内盘均为硅橡胶材质构件。
5.根据权利要求2所述的一种单晶硅片检测机器人工作站，其特征在于，所述支架设有四个吸盘结构，所述四个吸盘结构呈矩状分布。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山职业技术学院，未经佛山职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821419520.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
