[实用新型]石墨护板、铸锭设备有效

专利信息
申请号: 201821419946.1 申请日: 2018-08-30
公开(公告)号: CN208791810U 公开(公告)日: 2019-04-26
发明(设计)人: 武鹏;赵玉兵;蒋立洋;胡动力 申请(专利权)人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 护板 石墨 坩埚 加热器 本实用新型 表面开设 热交换块 铸锭设备 一氧化碳气体 体内 侧加热器 隔热笼体 技术效果 首尾拼接 形变空间 隔热笼 硅锭 炉体
【权利要求书】:

1.一种石墨护板,用于坩埚与侧加热器之间,其特征在于,所述石墨护板一侧的表面开设有多个凹槽,所述凹槽布满所述石墨护板的表面。

2.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,多个所述凹槽在所述石墨护板的表面的投影总面积占所述石墨护板的表面总面积的比例为50%以上。

3.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,多个所述凹槽所围成的轮廓总面积占所述石墨护板的表面总面积的比例为80%以上。

4.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,所述凹槽的深度占所述石墨护板的厚度的比例为10%~70%。

5.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,所述凹槽均设为条状,均匀分布于所述石墨护板的表面。

6.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,相邻所述凹槽之间相互连通。

7.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,所述凹槽设为多排,相邻排的所述凹槽之间错位排布。

8.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,所述石墨护板具有相对的顶部和底部,相对于所述石墨护板的顶部,所述凹槽水平地、或竖直地、或倾斜地设于所述石墨护板的表面。

9.根据权利要求1所述的石墨护板,其特征在于,所述石墨护板开设所述凹槽的表面还涂覆有碳化硅层。

10.一种铸锭设备,包括:炉体,所述炉体内设有隔热笼体,所述隔热笼体内设有热交换块,所述热交换块上方设有坩埚,所述坩埚的外侧设有加热器,其特征在于,所述坩埚和所述加热器之间设有由多个权利要求1至9任一项所述的石墨护板首尾拼接而成的坩埚护板,所述石墨护板开设所述凹槽的表面朝向所述坩埚。

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