[实用新型]一种分段式单晶硅加料器有效

专利信息
申请号: 201821423126.X 申请日: 2018-08-31
公开(公告)号: CN208803161U 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 李倩 申请(专利权)人: 深圳市诺晨信有机硅材料有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 王艺伟
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 溶料罐 加料管 料斗 单晶硅加料器 伺服电机 出料口 分段式 进料口 连接端 螺旋杆 贯穿 半导体技术领域 本实用新型 大小不一 原料搅拌 转动连接 加料 动力端 进料管 溶化
【说明书】:

实用新型提供了一种分段式单晶硅加料器,属于半导体技术领域,包括溶料罐、加料管、料斗和管底,溶料罐右侧贯穿设置有加料管,加料管上方贯穿设置有料斗,料斗底部固定连接有有管底,且管底与上方加料管呈贯穿设置,并且管底左侧连接端与溶料罐固定连接,溶料罐包括进料口、出料口和进料管,进料口固定连接在溶料罐上方中部,出料口固定连接在溶料罐下方中部。该装置中设置有伺服电机和螺旋杆,通过伺服电机动力端和螺旋杆连接端转动连接能够将大小不一的原料搅拌均匀,达到增加加料数量、提升溶化速度,提高了加料管的使用,具有广泛的实用性。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域,更具体的说,涉及一种单晶硅加料器。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位,是当代信息技术和光伏产业的支柱,其生产单晶硅一般流程为装料(加料)、化料、引晶、放肩、等径、收尾和清炉,但现有生产单晶硅的加料器存在以下弊端:

第一、由于在装料(加料)过程中,生产单晶硅的原料形状、大小不均匀,导致加料管加料少,且大小不一致的原料会减慢溶化速度;

第二、现有加料器在加料时,大多数采用的都是直筒式入料,内筒未实施分段式结构入料,导致加料器内筒受到较大的冲击力,会使得加料器的寿命变短。

实用新型内容

本实用新型旨在于解决加料器在装料(加料)过程中,生产单晶硅的原料形状、大小不均匀,导致加料管加料少,且大小不一致的原料会减慢溶化速度的技术问题,提供一种分段式单晶硅加料器,该装置中设置有伺服电机和螺旋杆,通过伺服电机动力端和螺旋杆连接端转动连接能够将大小不一的原料搅拌均匀,达到增加加料数量、提升溶化速度,提高了加料管的使用,具有广泛的实用性。

为实现上述目的,本实验新型提供如下技术方案:一种分段式单晶硅加料器,包括溶料罐、加料管、料斗和管底,所述溶料罐右侧贯穿设置有加料管,所述加料管上方贯穿设置有料斗,所述料斗底部固定连接有有管底,且管底与上方加料管呈贯穿设置,并且管底左侧连接端与溶料罐固定连接;

所述溶料罐包括进料口、出料口和进料管,所述进料口固定连接在溶料罐上方中部,所述出料口固定连接在溶料罐下方中部,所述进料口上方贯穿设置有进料管,且进料管与右侧加料管呈贯穿设置;

所述加料管包括内筒、螺旋杆、旋转电机、电源线、活动板、入料板和挡水块,所述内筒通过螺栓固定连接在加料管中,所述螺旋杆转动连接在内筒中部,且螺旋杆与内筒、加料管呈贯穿设置,所述旋转电机活动连接在加料管右侧外部,所述电源线固定连接在旋转电机上方,所述活动板活动连接在内筒中部,且活动板位于螺旋杆下方,活动板与内筒、加料管呈贯穿设置,所述入料板固定连接在活动板下方,且入料板与左侧的进料管固定连接,所述挡水块焊接在内筒与加料管之间,且挡水块紧附于内筒右侧外壁;

所述料斗包括滤网,所述滤网活动连接在料斗中部;

所述管底包括加水口、出水口和开关阀,所述加水口固定连接在管底上方的右侧,所述出水口固定连接在管底下方的中部,且加水口、出水口均与管底呈贯穿设置,所述开关阀活动连接在出水口右侧。

进一步的优选方案:所述旋转电机通过设置的电源线与外部电源连接。

进一步的优选方案:所述螺旋杆上下两侧设有密封垫,且密封垫紧附于内筒内壁,并且旋转电机动力端与螺旋杆连接端呈转动连接。

进一步的优选方案:所述活动板长度比内筒宽度长3cm。

进一步的优选方案:所述入料板呈“倾斜”状设置,且入料板倾斜角为30°-45°。

进一步的优选方案:所述滤网直径比料斗中部直径要长4cm。

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