[实用新型]双工位曝光光源系统有效
| 申请号： | 201821426176.3 | 申请日： | 2018-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN208969426U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 余燕青 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 许彬 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多点光源 反射 蝇眼透镜组 曝光光源 光路变换镜 均匀面光源 球面反光镜 光斑 方向反射 接收光路 曝光工位 变换镜 双工位 投射 凸透镜 简化设备结构 本实用新型 紫外光 固定波长 光源聚集 聚光光源 图形曝光 光路 射出 光源 镜子 焦点 分配 加工 | ||
1.双工位曝光光源系统，其特征在于：具有
LED聚光光源（1），该聚光光源（1）由多个LED灯珠（11）按设计倾向角度围绕中心均匀排列分布，工作时发出固定波长的紫外光，在设计凸透镜的焦点聚集成光斑；
蝇眼透镜组（2），该蝇眼透镜组（2）用于接收LED聚光光源（1）聚集的光斑并进行光学积分分配，形成均匀多点光源；
光路变换镜（3），接收蝇眼透镜组（2）射出的多点光源，通过切换镜子反射角度，实现两个光路方向的交替反射；
第一球面反光镜（4），接收光路变换镜（3）朝第一方向反射出来的多点光源，经过第一球面反光镜（4）反射积分形成均匀面光源，投射到第一曝光工位（5）上；
第二球面反光镜（6），接收光路变换镜（3）朝第二方向反射出来的多点光源，经过第二球面反光镜（6）反射积分形成均匀面光源，投射到第二曝光工位（7）上。
2.根据权利要求1所述的双工位曝光光源系统，其特征在于：所述LED聚光光源（1）、蝇眼透镜组（2）及光路变换镜（3）分布在一直线上，第一球面反光镜（4）和第二球面反光镜（6）相对于该直线对称布置。
3.根据权利要求1或2所述的双工位曝光光源系统，其特征在于：所述LED聚光光源（1）中的LED灯珠（11）按设计倾向角度围绕中心均匀排列分布，工作时LED灯珠（11）之间聚集合成的发光夹角在20°～60°之内。
4.根据权利要求1或2所述的双工位曝光光源系统，其特征在于：所述光路变换镜（3）是接收蝇眼透镜组（2）射出的光，通过转动轴带动正反偏转20°～70°角来实现两个光路方向的交替反射。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市友辉光电科技有限公司，未经东莞市友辉光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821426176.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
