[实用新型]柔性基板双面曝光机

权利要求书

1.柔性基板双面曝光机，具有机座（1），其特征在于：所述机座（1）上设有用于柔性基板第一面曝光的第一曝光平台（2）及用于柔性基板第二面曝光的第二曝光平台（3），第一曝光平台（2）的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版（4），第二曝光平台（3）的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版（5）；所述第一曝光平台（2）和第二曝光平台（3）各自往返于曝光位和待料位；所述机座（1）上设有上料平台（10）和下料平台（11）；所述机座（1）上还设有衔接第一曝光平台（2）出料和第二曝光平台（3）上料的翻面组件（6）；所述机座（1）设有第一机械手（7）和第二机械手（8），负责移载柔性基板的进出料。

2.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述翻面组件（6）是翻转板，当翻面组件（6）吸附第一机械手（7）从第一曝光平台（2）待料位移载过来的柔性基板后，翻面组件（6）翻转倒扣在过渡平台（61）上；翻面组件（6）释放真空并翻回原位，翻面后的柔性基板吸附在过渡平台（61）上，再由第二机械手（8）取走过渡平台（61）上的柔性基板，移载到第二曝光平台（3）的待料位。

3.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述第一曝光平台（2）和第二曝光平台（3）交替落位在各自的曝光位上，且由同一曝光光源（9）提供双工位的平行光源进行曝光作业。

4.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述第一机械手（7）和第二机械手（8）均为双工位升降吸盘，实现第一曝光平台（2）或第二曝光平台（3）待料位上曝光好的柔性料基板取出和新柔性基板放入的移载工作。

5.根据权利要求1~4中任意一项所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述第一曝光平台（2）和第二曝光平台（3）并列布置，均通过直线电机驱动往返于曝光位和待料位之间。

6.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：第一曝光平台（2）的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版（4），第二曝光平台（3）的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版（5），当曝光平台（2）到达曝光位时第一曝光铬版（4）下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合；当曝光平台（3）到达曝光位时第二曝光铬版（5）下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合。