[实用新型]曝光机的光源更换系统以及曝光机有效
申请号: | 201821431456.3 | 申请日: | 2018-08-31 |
公开(公告)号: | CN208737218U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 吴利峰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 室内 曝光机 光源 导轨移动 光源更换 导轨 腔室 工作腔 测试腔室 工作腔室 光源测试 生产效率 相邻设置 测试腔 曝光灯 停机 申请 | ||
本申请公开了一种曝光机的光源更换系统以及曝光机。该光源更换系统,包括腔室,腔室包括相邻设置的工作腔室、测试腔室以及更换腔室,工作腔室内设置有第一光源,更换腔室内设置有第二光源;以及导轨,导轨设置在腔室内;其中,第一光源可沿着导轨移动至更换腔室内,第二光源可沿着导轨移动至测试腔室内,待第二光源测试通过后再沿着导轨移动至工作腔室内。本申请实施例通过在腔室内设置导轨,更换曝光灯时无需停机和降温,因此提高了生产效率。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种曝光机的光源更换系统以及曝光机。
背景技术
在现有的曝光工艺中,曝光机用于曝光的曝光灯使用一段时间后,随着其照度的下降,就需要更换曝光灯,而且曝光灯的使用还需要进行照度的确认才能进行使用,这对于连续生产及产能的制约都产生了非常大的影。
一般曝光灯临近其使用寿命时,就会影响产品的特性,这时需要提前进行新的曝光灯更换,但更换曝光灯需要停机和降温,并且更换手续也相对繁琐,如果更换过程存在操作不当会直接影响曝光的品质,使玻璃基板上出现曝光不均匀的现象,这样就导致玻璃基板上产生各类宏观和微观的缺陷,影响整张玻璃基板的良品率。另外,传统的曝光设备曝光灯更换方式还会涉及到曝光灯从点灯开始到照度稳定才能开始使用,因此需要等待新灯稳定后才能使用,整个过程浪费了大量的时间,降低了生产效率。
实用新型内容
本申请实施例提供一种曝光机的光源更换系统以及曝光机,可以提高生产效率。
本申请实施例提供一种曝光机的光源更换系统,包括:
腔室,所述腔室包括相邻设置的工作腔室、测试腔室以及更换腔室,所述工作腔室内设置有第一光源,所述更换腔室内设置有第二光源;以及
导轨,所述导轨设置在所述腔室内;其中,
所述第一光源可沿着所述导轨移动至所述更换腔室内,所述第二光源可沿着所述导轨移动至所述测试腔室内,待所述第二光源测试通过后再沿着所述导轨移动至所述工作腔室内。
在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述工作腔室与所述测试腔室并排设置,且所述更换腔室设置在所述工作腔室与测试腔室上。
在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述导轨为环形导轨。
在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述腔室内还设置有第一移动板、第二移动板和第三移动板;其中,所述第一移动板设置在所述工作腔室与所述更换腔室之间,所述第二移动板设置在所述测试腔室与所述更换腔室之间,所述第三移动板设置在所述工作腔室与所述测试腔室之间。
在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述第一移动板包括第一移动部以及第一固定部,所述第二移动板包括第二移动部和第二固定部,所述第三移动板包括第三移动部和第三固定部;其中,所述第一固定部上设置有第一过孔,所述第二固定部设置有第二过孔,所述第三固定部设置有第三过孔,所述导轨沿着所述第一过孔、第二过孔以及第三过孔设置。
在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述第一光源包括第一滑动部以及设置在所述第一滑动部一侧的第一发光部,所述第二光源包括第二滑动部以及设置在所述第二滑动部一侧的第二发光部;
其中,所述第一滑动部和第二滑动部均设置在所述导轨上,以使所述第一光源可沿着所述导轨移动至所述更换腔室内,所述第二光源可沿着所述导轨移动至所述测试腔室内,待所述第二光源测试通过后再沿着所述导轨移动至所述工作腔室内。
在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,所述工作腔室内还设置有反射器,以及设置在所述工作腔室外的接收器;其中,所述反射器用于将所述第一光源发出的光线反射至所述接收器上。
在本申请所述的曝光机的光源更换系统中,其特征在于,所述测试腔室内还设置有一测试单元;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电技术有限公司,未经武汉华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821431456.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种掩模版导轨片贴合装置
- 下一篇:一种晶圆工作台清洁系统