[实用新型]晶片测试装置有效
申请号: | 201821435408.1 | 申请日: | 2018-09-03 |
公开(公告)号: | CN208953661U | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 信号合成装置 第二信号 检测仪 晶片测试装置 接口设置 晶片插座 介面卡 测试装置 低频检测 高频测试 低频率 高频率 输出端 输入端 晶片 种晶 合成 输出 | ||
1.一种晶片测试装置,其特征在于,所述晶片测试装置包括:
介面卡,所述介面卡包括:
信号合成装置,用于将多个检测仪发出的第一信号合成第二信号,并将所述第二信号发送给晶片插座;
多个第一接口,设置在所述信号合成装置的输入端,用于连接所述多个检测仪;
第二接口,设置在所述信号合成装置的输出端,用于连接晶片插座。
2.如权利要求1所述的晶片测试装置,其特征在于,所述第二信号的频率高于所述第一信号的频率。
3.如权利要求1所述的晶片测试装置,其特征在于,多个所述第一信号之间具有预设的相位差。
4.如权利要求3所述的晶片测试装置,其特征在于,所述晶片测试装置还包括:
多个检测仪,分别和多个第一接口对应连接,用于输出所述第一信号。
5.如权利要求4所述的晶片测试装置,其特征在于,所述晶片测试装置还包括:
控制器,和多个所述检测仪连接,用于控制所述检测仪输出的第一信号,使得多个所述第一信号之间具有预设的相位差。
6.如权利要求1所述的晶片测试装置,其特征在于,所述信号合成装置包括:
多个缓冲器,其中,每个缓冲器的输入端对应一个第一接口,多个缓冲器的输出端连接,用于将多路所述第一信号合成为所述第二信号。
7.如权利要求1所述的晶片测试装置,其特征在于,所述信号合成装置包括:
或门,用于接收多个所述检测仪发出的第一信号,将多个所述第一信号合成第二信号,并将所述第二信号发送给所述晶片插座。
8.如权利要求1所述的晶片测试装置,其特征在于,所述信号合成装置包括:
加法器,用于接收多个所述检测仪发出的所述第一信号,将多个所述第一信号合成所述第二信号,并将所述第二信号发送给所述晶片插座。
9.如权利要求1所述的晶片测试装置,其特征在于,所述晶片测试装置还包括:
晶片插座,和所述第二接口连接,用于安装晶片。
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