[实用新型]光罩清洗治具

权利要求书

1.一种光罩清洗治具，其特征在于，所述清洗治具包括中空且两端开口的轴套、借助于轴承固定安装于轴套内且两端分别自所述轴套两端的开口伸出的芯轴、固定于所述芯轴的自所述轴套的底端开口伸出的一端上的刷具，所述芯轴的自轴套顶端开口伸出的一端与用于驱动芯轴旋转的旋转动力机构传动连接。

2.如权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述轴套顶端还固定有连接板，所述旋转动力机构固定于所述连接板上，所述旋转动力机构的旋转输出轴穿过所述连接板与芯轴共轴且在周向相对固定。

3.如权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述轴套内部设有轴承，所述芯轴自所述轴承的中心孔穿过，所述芯轴和轴承之间在径向固定但在轴向及周向均可相对活动。

4.如权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述芯轴顶端向内凹陷，形成凹槽，所述凹槽槽壁设有第一卡槽；所述旋转动力机构的输出轴上设有第一卡键；所述输出轴插入所述芯轴凹槽内，所述第一卡键嵌入所述第一卡槽。

5.如权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述芯轴底端向下凸出，形成凸起，所述凸起外壁设有第二卡键；所述刷具中心设有轴毂，所述轴毂向内凹陷，形成轴毂孔，所述轴毂孔内壁设有第二卡槽；所述芯轴底端凸起插入所述刷具轴毂孔内，所述第二卡键嵌入所述第二卡槽。

6.如权利要求2所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述连接板与所述旋转动力机构均设有对应的螺纹孔，由螺栓螺合于所述螺纹孔内而固定连接所述连接板与旋转动力机构。

7.如权利要求2所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述连接板底端设有连接套筒，所述轴套顶端侧壁设有定位螺孔，所述轴套套接在所述连接套筒内，另由螺栓螺合于所述定位螺孔而固定连接所述轴套和连接板。