[实用新型]一种高产能石墨舟

说明书

本实用新型公开了一种高产能石墨舟，包括主体，所述主体的外侧安装有石英管，所述主体上安装有陶瓷环，所述陶瓷环的两端安装有陶瓷柱，所述陶瓷环上安装有舟片，主体的两端安装有石墨舟片，所述石墨舟片上设置有第一电极，所述石墨舟片的两端安装有第一固定螺丝，所述主体两端的下方安装有石墨块，所述石墨块上设置有第二电极，所述哇片上安装有第二固定螺丝。本实用新型增加产能的方式是通过增加石墨舟片和硅片的排列纵数来实现的，石墨舟载片量是416片时，石墨舟的片数是27片，石墨舟片中硅片的排列是8纵，而载片量达到600片时，石墨舟的片数需要加大到31片，硅片排列为10纵，通过其有效提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟领域，具体是一种高产能石墨舟。

背景技术

在太阳能电池片制造工艺过程中，PECVD工艺是在硅片基体上进行镀减反射膜，而石墨舟作为晶片的载体发挥重要作用的。石墨舟承载固定硅片，其载片量直接决定了产能的高低。目前状态下，石墨舟载片量加大的同时，会带来非常不好的反面效应，降低工艺的最关键指标，即为晶片方阻的均匀性。

目前关于高产能石墨舟仍存在不足之处，例如：产能效率低、稳定性差、安全性低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高产能石墨舟，以解决现有技术中的产能效率低、稳定性差、安全性低问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高产能石墨舟，包括主体，所述主体的外侧安装有石英管，所述主体上安装有陶瓷环，所述陶瓷环的两端安装有陶瓷柱，所述陶瓷环上安装有舟片，主体的两端安装有石墨舟片，所述石墨舟片上设置有第一电极，所述石墨舟片的两端安装有第一固定螺丝，所述主体两端的下方安装有石墨块，所述石墨块上设置有第二电极，所述石墨块的底端安装有第一舟脚与第二舟脚，且第二舟脚设置在第一舟脚的内，所述主体上安装有哇片，所述哇片上安装有第二固定螺丝。

优选的，所述主体与哇片固定连接，且哇片排列为十纵。

优选的，所述石墨块与第一舟脚固定连接，且第一舟脚与石英管固定连接。

优选的，所述第二舟脚设置为四个，且四个第二舟脚分别安装在石英块的底端。

优选的，所述陶瓷环与陶瓷柱镶嵌连接，且陶瓷柱与主体滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型增加产能的方式是通过增加石墨舟片和硅片的排列纵数来实现的，石墨舟载片量是416片时，石墨舟的片数是27片，石墨舟片中硅片的排列是8纵，而载片量达到600片时，石墨舟的片数需要加大到31片，硅片排列为10纵，通过其有效提高了生产效率，在石墨舟两端共增加四个个第二舟脚，即原先的石墨舟中只有第一舟脚，此高产能石墨舟是增加了四个第二舟脚，以增加石墨舟的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的主体侧视图。

图中：1-主体、2-石墨舟片、3-陶瓷环、4-石英管、5-第一电极、6-舟片、7-陶瓷柱、8-第一固定螺丝、9-第一舟脚、10-第二电极、11-石墨块、12-哇片、13-第二固定螺丝、14-第二舟脚。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。