[实用新型]一种石英冷凝瓶有效
申请号: | 201821446620.8 | 申请日: | 2018-09-05 |
公开(公告)号: | CN209530137U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 崔慧敏;林罡;王鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡华源晶电科技有限公司 |
主分类号: | B01D5/00 | 分类号: | B01D5/00 |
代理公司: | 无锡嘉驰知识产权代理事务所(普通合伙) 32388 | 代理人: | 盛际丰 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内桶体 石英冷凝瓶 循环水腔 尾气 本实用新型 半球形 进气管 冷却 爆破事故 内外压差 外侧设置 出气管 冷却水 内筒体 偏磷酸 石英 负压 凝固 穿过 排放 | ||
本实用新型公开了一种石英冷凝瓶,包括由石英制成的内桶体,所述内桶体上设置有进气管和出气管;所述内桶体外侧设置有循环水腔体,所述进气管穿过循环水腔体后与内桶体相连接,所述内桶体的顶部和底部为半球形;本实用新型通过设置循环水腔体,利用冷却水对尾气进行冷却,提高了尾气的冷却速度,同时可以使尾气中的气态偏磷酸,遇冷进行凝固成液态后,进入到内桶体中,便于有害物质的定向收集和定向排放;内桶体的顶部和底部为半球形设计,使得内筒体在内部负压的状态下,完全可以承受内外压差所带来的压力,防止石英冷凝瓶爆破事故的发生。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,具体涉及一种石英冷凝瓶。
背景技术
太阳能电池片制造工艺中的低压扩散工艺,因其产量大,能耗小,工艺效果更优的特点,而得到迅速的应用。在此工艺过程中,防腐真空泵起着至关重要的作用,真空泵的正常运行保证了低压工艺的压力运行环境,是低压工艺进行的基础条件。但是,因为真空泵本身的耐温性,所以必须要降低进入真空泵的尾气温度,所以在工艺腔体和真空泵之间需要冷凝装置,以降低进入真空泵的尾气温度。
石英冷凝瓶应用于太阳能电池片制造工艺中的低压扩散工艺中,用于工艺的尾气偏磷酸的冷却收集,其主要目的是降低进入真空泵的尾气温度,收集尾气中的偏磷酸,实现尾气有害物质的定向收集,以保证操作人员的安全;传统的冷凝瓶是通过风扇直吹石英冷凝瓶的方式来降温的,这种方式在低压扩散工艺中已经无法满足对降温速率的要求;且在低压扩散工艺中,尾气中的偏磷酸对人体是有危害的,用于传统的常压冷凝瓶是圆柱形的,由于负压的存在,内外的压差使得圆柱的上下面受力加大,非常容易产生破裂,即使增大石英冷凝瓶的厚度,也无法避免石英冷凝瓶爆破的可能性,这是非常重大的责任事故。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型提供了一种石英冷凝瓶,采用循环水对尾气进行降温,提高了冷凝效果,石英冷凝瓶的顶部和底部采用半球形设计,适应了低压工艺,避免石英冷凝瓶的破裂。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:一种石英冷凝瓶,包括由石英制成的内桶体,所述内桶体上设置有进气管和出气管;所述内桶体外侧设置有循环水腔体,所述进气管穿过循环水腔体后与内桶体相连接,所述内桶体的顶部和底部为半球形。
作为本实用新型的一个优选的技术方案:所述进气管在循环水腔体内螺旋设置,其一端伸出循环水腔体,另一端与内桶体下部相连接。
作为本实用新型的一个优选的技术方案:所述循环水腔体内的进气管设置在内桶体的外壁上。
作为本实用新型的一个优选的技术方案:所述循环水腔体设置有进水口和出水口,所述出水口位于进水口的上部。
作为本实用新型的一个优选的技术方案:所述出水口的直径大于进水口的直径。
作为本实用新型的一个优选的技术方案:述循环水腔体下端设置有支撑脚,所述支撑脚有两个,分别位于循环水腔体下端的两侧。
作为本实用新型的一个优选的技术方案:所述内桶体下部为酸液收集腔,所述酸液收集腔下部设置有酸液出口。
本实用新型具有以下有益效果:
1、通过设置循环水腔体,利用冷却水对尾气进行冷却,提高了尾气的冷却速度,同时可以使尾气中的气态偏磷酸,遇冷进行凝固成液态后,进入到内桶体中,便于有害物质的定向收集和定向排放。
2、内桶体的顶部和底部为半球形设计,使得内筒体在内部负压的状态下,完全可以承受内外压差所带来的压力,防止石英冷凝瓶爆破事故的发生。
附图说明
图1为本实用新型整体结构剖视图;
图2为本实用新型侧视图;
图3为本实用新型俯视图;
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