[实用新型]一种可固定硅片的转换托盘

说明书

本实用新型涉及托盘技术领域，尤其为一种可固定硅片的转换托盘，包括6寸固定环、4寸固定环和底部固定托盘，所述6寸固定环上端内侧与3寸固定套件b固定连接，所述6寸固定环右端内侧与3寸固定套件a固定连接，所述6寸固定环底部与底部固定托盘粘合。本实用新型中固定套件b、3寸固定套件a均为弹性结构，通过弹力，可以抵住硅片使其位置固定不动,加强稳定性，底部固定托盘可以针对不同大小的硅片进行承载，加工简单，使用方便，有利于提高设备利用率，节约生产成本，通过在固定环的上端内侧与右端内侧均设置有固定套件，可以通过固定套件来连接不同尺寸的固定环，可以针对不同尺寸的硅片进行固定。

技术领域

本实用新型涉及托盘技术领域，具体为一种可固定硅片的转换托盘。

背景技术

量测设备原来可测试一种固定尺寸的硅片，而且是针对一种硅片进行测定，因为硅片的尺寸不同就需要不同的测量设备进行测量，不仅操作复杂，而且还降低了生产效率，因此，针对上述问题提出一种可固定硅片的转换托盘。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可固定硅片的转换托盘，固定套件b、3 寸固定套件a均为弹性结构，通过弹力，可以抵住硅片使其位置固定不动,加强稳定性，底部固定托盘可以针对不同大小的硅片进行承载，加工简单，使用方便，有利于提高设备利用率，节约生产成本，通过在固定环的上端内侧与右端内侧均设置有固定套件，可以通过固定套件来连接不同尺寸的固定环，可以针对不同尺寸的硅片进行固定，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种可固定硅片的转换托盘，包括6寸固定环、4寸固定环和底部固定托盘，所述6寸固定环上端内侧与3寸固定套件b固定连接，所述6寸固定环右端内侧与3寸固定套件a固定连接，所述6寸固定环底部与底部固定托盘粘合，所述6寸固定环通过3寸固定套件b、3寸固定套件a与4寸固定环固定连接。

优选的，所述6寸固定环左侧下端设置有安装槽，且安装槽内部设置有定位顶针或3寸定位顶针，所述定位顶针为4寸或6寸通用顶针。

优选的，所述4寸固定环上端内侧与右端内侧均设置有连接槽，所述3 寸固定套件b、3寸固定套件a与连接槽连接。

优选的，所述底部固定托盘与6寸固定环的直径一致。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，固定套件b、3寸固定套件a均为弹性结构，通过弹力，可以抵住硅片使其位置固定不动,加强稳定性。

2、本实用新型中，底部固定托盘可以针对不同大小的硅片进行承载，加工简单，使用方便，有利于提高设备利用率，节约生产成本。

3、本实用新型中，通过在固定环的上端内侧与右端内侧均设置有固定套件，可以通过固定套件来连接不同尺寸的固定环，可以针对不同尺寸的硅片进行固定。

附图说明

图1为本实用新型一种可固定硅片的转换托盘整体结构示意图；

图中：1、6寸固定环；2、4寸固定环；3、定位顶针；4、3寸定位顶针； 5、底部固定托盘；6、3寸固定套件b；7、3寸固定套件a。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：