[实用新型]一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜

说明书

本实用新型公开了一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜，所述金刚石膜包括离型层、第一光学胶层、抗静电透明PET膜层、金刚石层、导热胶层、透明PET膜层和印刷涂层，所述抗静电透明PET膜层通过第一光学胶层固定在离型层上，所述金刚石层通过微波等离子体化学气相沉积工艺直接设置在抗静电透明PET膜层上，所述透明PET膜层通过PU胶层设置在金刚石层上，所述印刷涂层设置在透明PET膜层上。本实用新型大大提高了手机，平板电脑，LED照明等电子产品上的保护膜的强度，并且可进行墨水印刷、印刷牢固高，抗静电效果和美观性都非常好。

技术领域

本实用新型涉及一种金刚石膜，具体涉及一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜。

背景技术

人造金刚石是热管理应用的理想材料，该材料是电绝缘体，导热性比铜高出四倍。最早是作为热沉材料应用于电信行业的敏感电子元件上。现已广泛应用于热管理领域。用于热沉领域的金刚石的必须具有高热导率，这就要求制备的金刚石纯净，缺陷少，面积大，同时还要求有较高的生长速率以降低生产成本。由于MPCVD的自身优点，决定了它是工业上制备热沉金刚石的理想方法。用MPCVD法制备的金刚石膜的热导率随沉积工艺的不同而一般在5～26W/(cm·K)之间。目前，采用MPCVD金刚石热沉(散热片)的大功率半导体激光器已经在光通信,在激光二极管、功率晶体管、电子封装材料等方面都有应用。

MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)金刚石是将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器，并通入CH4与H2的混合气体，在微波的激励下，在反应室内产生辉光放电，使反应气体的分子离化，产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。

由于MPCVD金刚石中不含任何金属催化剂，因此它的热稳定性接近天然金刚石。同高温高压人工合成聚晶金刚石一样，MPCVD金刚石晶粒也呈无序排列，无脆性解理面，因此呈现各向同性。

由于金刚石的高硬度、高耐磨性、导热性好使得金刚石薄膜成为极佳的工具材料，而目前还没有将金刚石膜应用到手机，平板电脑，LED照明等电子产品上。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述问题，从而提供一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜，所述金刚石膜包括离型层、第一光学胶层、抗静电透明PET膜层、金刚石层、导热胶层、透明PET膜层和印刷涂层，所述抗静电透明PET膜层通过第一光学胶层固定在离型层上，所述金刚石层通过微波等离子体化学气相沉积工艺直接设置在抗静电透明PET膜层上，所述透明PET膜层通过PU胶层设置在金刚石层上，所述印刷涂层设置在透明PET膜层上。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述离型层的厚度为0.01mm～0.03mm。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述抗静电透明PET膜层的厚度为0.2mm～0.5mm。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述金刚石层的厚度为0.1mm～0.5mm。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述透明PET膜层的厚度为0.05mm～0.08mm。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述印刷涂层为墨水印刷层。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述第一光学胶层的厚度为0.01mm～0.02mm。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述导热胶层由导热硅胶制成，所述导热胶层的厚度为0.005mm～0.01mm。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型大大提高了手机，平板电脑，LED照明等电子产品上的保护膜的强度，并且可进行墨水印刷、印刷牢固高，抗静电效果和美观性都非常好。