[实用新型]机械夹持机械手有效

专利信息
申请号: 201821463598.8 申请日: 2018-09-07
公开(公告)号: CN208722857U 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 王冲;陈胜华 申请(专利权)人: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 代理人: 胡小永
地址: 315400 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 连接轴 气缸 机械夹 夹持座 导向夹持块 机械手 活塞杆 晶片 壳体 本实用新型 高速搬运 晶片掉落 晶片运输 壳体内部 可伸缩的 快速检测 伸缩运动 固定的 固定座 夹紧块 可转动 掉落 上端 滑落 夹持 体内 移动
【权利要求书】:

1.一种机械夹持机械手,其特征在于:包括壳体(1)、气缸(2)、连接轴(4)、夹持座(8)、夹紧块(9)、固定座(10)、第一导向夹持块(11)和第二导向夹持块(12);所述壳体(1)可转动的设置在机械手(22)上端;所述气缸(2)固定的安装在所述壳体(1)内部;所述连接轴(4)可伸缩的设置在所述壳体(1)内;所述气缸(2)的活塞杆与所述连接轴(4)连接,所述连接轴(4)的另一端与所述夹持座(8)固定,所述气缸(2)的活塞杆的伸缩运动带动所述夹持座(8)移动;两个所述夹紧块(9)分别设置在所述夹持座(8)的一端两侧,所述夹紧块(9)用于夹紧晶片(13);所述固定座(10)一端与所述壳体(1)固定;所述第一导向夹持块(11)和第二导向夹持块(12)对称的设置在所述固定座(10)上;被夹持的晶片(13)设置在所述第一导向夹持块(11)和第二导向夹持块(12)之间的空腔内;所述固定座(10)下端面与所述夹持座(8)上端面贴合。

2.根据权利要求1所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述机械夹持机械手还包括连接块(3)、直线轴承(5)、第一固定块(6)和第二固定块(7);所述气缸(2)的活塞杆与所述连接轴(4)通过所述连接块(3)连接,所述连接块(3)一端与所述气缸(2)的活塞杆固定,另一端与所述连接轴(4)固定;所述直线轴承(5)与垫片配合设置在所述壳体(1)的前端内部腔体(14)内;所述第一固定块(6)固定安装在所述壳体(1)的前端,将所述直线轴承(5)固定住;所述第二固定块(7)固定安装在所述夹持座(8)的另一端;所述连接轴(4)与所述直线轴承(5)滑动连接,所述连接轴(4)穿过所述直线轴承(5)及第一固定块(6)与所述第二固定块(7)固定;所述第一固定块(6)与所述连接轴(4)间隙配合。

3.根据权利要求1所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述机械夹持机械手还包括限位块(15),所述限位块(15)穿过所述夹持座(8)与所述固定座(10)固定,所述夹持座(8)上设置有与所述限位块(15)配合的通孔(16),所述夹持座(8)的底面且位于所述通孔(16)的两侧设置有与所述限位块(15)配合的滑槽(17)。

4.根据权利要求3所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述限位块(15)的形状为凸字形。

5.根据权利要求1所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述第二导向夹持块(12)上还设置有用于检测晶片(13)是否落到底部的真空检测口(18),所述第二导向夹持块(12)内设置有连接通道(19),所述连接通道(19)的另一端与气管接头(20)连接,所述气管接头(20)的另一端通过连接管与真空压力开关(21)连接,所述真空压力开关(21)设置在所述机械手(22)的箱体(23)上。

6.根据权利要求1所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述第一导向夹持块(11)和第二导向夹持块(12)的外部结构相同,所述第二导向夹持块(12)的斜面(24)角度α为45-60度。

7.根据权利要求6所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述斜面(24)角度α优选50度。

8.根据权利要求1所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述夹紧块(9)形状呈L形。

9.根据权利要求1至8任一项所述的机械夹持机械手,其特征在于:所述壳体(1)上还设置有与所述壳体(1)盖合的端盖(25)。

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