[实用新型]一种两段式阻水轮装置

说明书

本实用新型公开了一种两段式阻水轮装置，包括一号阻水轮、一号升降机构、机台槽体、触碰传感器、二号阻水轮、二号升降机构、工件出口、二号传动机构、二号电机、二号电机固定架、一号传动机构、一号电机、一号电机固定架以及工件入口，工件出口与工件入口分别设于机台槽体两端，一号阻水轮与二号阻水轮一前一后设于机台槽体内底面，两升降机构皆固定于机台槽体内侧壁上，两升降机构分别与两阻水轮连接，触碰传感器分别设于一号阻水轮以及二号阻水轮前的机台槽体内底面，两电机通过两电机固定架分别固定于机台槽体的下端，两传动机构皆设于机台槽体侧面，一号传动机构连接一号阻水轮以及一号电机，二号传动机构连接二号阻水轮以及二号电机。

技术领域

本实用新型属于半导体湿式制程设备领域；涉及阻水轮设计技术；具体是一种两段式阻水轮装置。

背景技术

在半导体湿式制程中，机台槽体内的阻水轮是必不可少的，然而我们目前湿式制程机台所使用的阻水轮，都是一体成形，整个阻水轮是一个整体，其结构较为简单，然而这钟阻水轮的缺点是在让基板进入机台槽体内部时需要将整只阻水轮抬起让基板通过,无法蓄积液体,下次作动时,又需重新补液,增加帮浦负担能力同时有影响生产节拍。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种两段式阻水轮装置。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种两段式阻水轮装置，包括一号阻水轮、一号升降机构、机台槽体、触碰传感器、二号阻水轮、二号升降机构、工件出口、二号传动机构、二号电机、二号电机固定架、一号传动机构、一号电机、一号电机固定架以及工件入口，所述工件出口与工件入口分别设于机台槽体前后两端，所述一号阻水轮、一号升降机构、触碰传感器、二号阻水轮、二号升降机构皆设于机台槽体内部，所述一号阻水轮设于机台槽体内侧底面上且位于机台槽体的工件入口一端，所述二号阻水轮设于机台槽体内侧底面上且位于机台槽体的工件出口一端，所述一号升降机构与二号升降机构皆固定于机台槽体内侧壁上，所述一号升降机构与一号阻水轮连接，所述二号升降机构与二号阻水轮连接，所述触碰传感器分别安装于工件入口和一号阻水轮之间靠近一号阻水轮的机台槽体内侧底面上以及一号阻水轮和二号阻水轮之间靠近二号阻水轮的机台槽体内侧底面上，所述一号电机通过一号电机固定架固定于机台槽体靠近工件入口一侧的下端面上，所述二号电机通过二号电机固定架固定于机台槽体靠近工件出口一侧的下端面上，所述一号传动机构以及二号传动机构皆设于机台槽体侧面，所述一号传动机构连接一号阻水轮以及一号电机，所述二号传动机构连接二号阻水轮以及二号电机。

所述触碰传感器用于检测工件是否达到传感器位置，并在工件到达传感器位置时产生一种信号，并将这个信号收集传经下一个部件以执行下一步的动作。

所述一号阻水轮包括升降阻水轮、升降阻水轮支架、固定阻水轮、转动轴以及升降阻水轮皮带槽，所述固定阻水轮通过转动轴分别固定于机台槽体内侧壁两侧上，所述升降阻水轮设于两固定阻水轮之间，所述升降阻水轮支架设于升降阻水轮两端，所述升降阻水轮中间位置设有升降阻水轮皮带槽。

所述二号阻水轮结构与一号阻水轮结构完全相同。

所述一号升降机构包括升降机构转动轴、固定座、升降支杆、液压缸、液压杆、第二升降铰链底座、升降杠杆、升降传动皮带、升降传动皮带轮以及升降轴承，所述升降机构转动轴安装于机台槽体内侧壁上并穿透内侧壁，所述升降杠杆一端连接升降阻水轮支架，另一端安装通过第二升降铰链底座与液压杆连接，所述升降轴承设于升降杠杆中间位置，所述升降支杆处，另一端通过第一升降铰链底座与液压缸连接，所述升降支杆上，所述固定座固定于机台槽体内侧壁上，所述升降支杆与液压杆配合安装，所述升降轴承以及支杆轴承皆安装于升降机构转动轴上，所述升降传动皮带轮安装于升降机构转动轴中间位置，所述升降传动皮带轮通过升降传动皮带与升降阻水轮皮带槽连接。

所述二号升降机构结构与一号升降机构结构完全相同，所述二号升降机构通过皮带连接二号阻水轮中升降阻水轮的升降阻水轮皮带槽。