[实用新型]一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置

权利要求书

1.一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：包括至少一根参激梁、至少一根参考梁、至少一根拾振梁，其中拾振梁为悬臂短梁、其一端固定在基底二上，参激梁、参考梁两端分别与基底一和基底二固定连接，同步耦合梁一与基底一固定连接、且还分别与参考梁、参激梁连接，同步耦合梁二与基底二固定连接、且还分别与参考梁、参激梁和拾振梁连接，拾振梁上表面靠近与同步耦合梁二相接处有压电激励感应电极，参考梁上表面靠近与同步耦合梁一相接处有压电激励电极一，参激梁上表面靠近与同步耦合梁一相接处有压电激励电极二、靠近与同步耦合梁二相接处有压电感应电极；参考梁、参激梁、拾振梁、同步耦合梁一、及同步耦合梁二共同组成同步共振结构；参激梁、拾振梁及同步耦合梁二共同组成传感结构，参考梁、参激梁及同步耦合梁一、同步耦合梁二共同组成触发结构，敏感层涂覆于参激梁中部。

2.根据权利要求1所述的一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：所述参考梁结构是：从上到下相互连接的压电激励电极一、上绝缘层一、基底梁一和下绝缘层二；其中压电激励电极一的结构是：从上到下相互连接的压电层上电极一、压电薄膜一和压电层下电极一。

3.根据权利要求1所述的一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：所述参激梁的结构是：从上到下相互连接的上绝缘层二、基底梁二和下绝缘层二，压电激励电极二、压电感应电极分别连接在上绝缘层二上表面的两端，敏感层连接在上绝缘层二上表面的中部。

4.根据权利要求3所述的一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：所述压电激励电极二的结构是：从上到下相互连接的压电层上电极二、压电薄膜二和压电层下电极二。

5.根据权利要求3所述的一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：所述压电感应电极的结构是：从上到下相互连接的压电层上电极三、压电薄膜三和压电层下电极三。

6.根据权利要求1所述的一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：所述拾振梁的结构是；从上到下相互连接的压电激励感应电极、上绝缘层三、基底梁三和下绝缘层三。

7.根据权利要求6所述的一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：所述压电激励感应电极的结构是：从上到下相互连接的压电层上电极四、压电薄膜四和压电层下电极四。

8.根据权利要求1所述的一种基于参数激励及同步共振的微量物质检测装置，其特征在于：拾振梁为高频梁，参考梁和参激梁为低频梁，参激梁和参考梁共振频率相等；当低频梁固有频率为f₁，高频梁固有频率为f₂，其固有频率满足如下公式：

a₁f₁＝b₁f₂

其中，a₁、b₁均为正整数，且a₁>b₁，a₁/b₁为频率的放大倍数。