[实用新型]一种背封炉喷头放置工具

说明书

一种背封炉喷头放置工具，背封炉和放置工具均设置在工作台上，背封炉上设有喷头，喷头前端设有喷嘴，喷头放在放置工具上，放置工具包括门字型框架和喷头支架，门字型框架的板面中心设有保护喷嘴的窄缝；喷头支架包括竖杆和放置喷头的圆形支撑环，圆形支撑环固定在竖杆顶端，且位于窄缝上方，竖杆下端的杆体上对称设有凹槽，窄缝一侧设有垂直且穿透板面的第一柱孔，沿着第一柱孔的径向方向，对称设有垂直第一柱孔内壁的第二柱孔，第二柱孔内设有弹簧凸块，竖杆下端设置在第一柱孔内；本实用新型通过设置放置工具，可以将喷头稳当地放置在工具上面，不会碰撞到喷嘴，便于对喷头进行拆装维护，解决了拆装喷头时无法放置的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，具体的说是一种背封炉喷头放置工具。

背景技术

半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺，一种重要的背封工艺就是采用常压化学气象淀积（APCVD）原理在硅片背面生长一层二氧化硅薄膜，执行该背封工艺主流设备有一种是常压式背封炉即APCVD背封炉，工作原理如下：将硅片放到履带上，匀速通过喷头下方，喷头喷出硅烷与氧气在硅片表面发生反应，并通过氮气使之与大气进行隔离，适当的气体配合适当的温度在常压环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅薄膜。在生产过程中为保证工艺质量，要经常对喷头进行维护和清洁，此时，要对喷头进行拆装，由于喷头属于精密设备，喷头的喷嘴是一条狭缝并凸出5毫米左右，尤其是喷嘴不能经受碰撞或挤压，如果直接将喷头放置在工作台上，势必会挤压到喷嘴，影响工艺质量，而侧面放置又无法拆装，因此需要设计一种专门用来放置背封炉喷头的工具，将喷嘴保护起来，避免喷嘴受到挤压或碰撞。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题的不足，本实用新型提出一种背封炉喷头放置工具，可以将喷头稳当地放置在工具上面，不会碰撞到喷嘴，便于对喷头进行拆装维护，解决了拆装喷头时无法放置的问题。

本实用新型为解决上述技术问题的不足而采用的技术方案是：一种背封炉喷头放置工具，背封炉和放置工具均设置在工作台上，所述背封炉上设有喷头，所述喷头前端设有喷嘴，所述喷头放在所述放置工具上，所述放置工具包括门字型框架和喷头支架，所述门字型框架的板面中心设有保护所述喷嘴的窄缝；所述喷头支架包括竖杆和放置所述喷头的圆形支撑环，所述圆形支撑环固定在所述竖杆顶端，且位于所述窄缝上方，所述竖杆下端的杆体上对称设有凹槽，所述窄缝一侧设有垂直且穿透所述板面的第一柱孔，沿着所述第一柱孔的径向方向，对称设有垂直所述第一柱孔内壁的第二柱孔，所述第二柱孔内设有弹簧凸块，所述竖杆下端设置在所述第一柱孔内。

作为优选方案，所述弹簧凸块包括弧形凸块和弹簧，所述弹簧一端固定在所述第二柱孔内壁上，另一端与所述弧形凸块的平面连接，所述弧形凸块的弧面指向所述第一柱孔的中心。

作为优选方案，所述弧形凸块的弧面与所述凹槽相匹配，通过所述凹槽与所述弹簧凸块配合，将所述竖杆卡紧在所述第一柱孔内。

作为优选方案，所述凹槽设有2~4组，每组以所述竖杆的中心轴为对称轴设置在所述竖杆的杆体上。

作为优选方案，所述圆形支撑环的直径小于所述喷头的尺寸。

作为优选方案，所述窄缝的宽度和长度分别大于所述喷嘴的宽度和长度。

作为优选方案，所述圆形支撑环的中心与所述窄缝的中心在工作台上的投影重合。

本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型提供了一种背封炉喷头放置工具，包括门字型框架和喷头支架，门字型框架可以设置在背封炉的工作台上，在门字型框架的板面中心设有窄缝，喷头支架设置在窄缝上方，喷头朝下放置在喷头支架上，将喷嘴放进窄缝内，在对喷头进行维护和清洁时，避免了拆装喷头时对喷嘴造成碰撞或挤压损害，提高了工艺质量和设备稳定性；