[实用新型]一种高精密测高设备

权利要求书

1.一种高精密测高设备，包括机架和三轴运动平台，其特征在于，还包括测高装置、定位装置和升降装置；所述测高装置设在三轴运动平台上；所述测高装置包括光源、相机与激光测高仪，所述相机设在所述光源的上方，所述相机与所述激光测高仪并列设置；所述定位装置包括第一支架、转盘以及驱动转盘转动的旋转驱动装置，所述转盘安装在第一支架上，所述旋转驱动装置安装在所述转盘中心的下方；所述转盘上设有若干个夹具组件，所述夹具组件设在所述升降装置与测高装置之间；所述升降装置可顶升夹具组件上的工件至测试位。

2.根据权利要求1所述的高精密测高设备，其特征在于，所述夹具组件包括底板、定位组件和夹紧组件；所述定位组件和夹紧组件均安装在所述底板上；所述定位组件与夹紧组件均包括驱动装置和夹板；所述夹板与所述驱动装置的活动端连接；所述夹紧组件还包括弹性组件，所述弹性组件设置在所述夹板与驱动装置的活动端之间。

3.根据权利要求2所述的高精密测高设备，其特征在于，所述定位组件与所述夹紧组件呈对角设置。

4.根据权利要求3所述的高精密测高设备，其特征在于，所述弹性组件为弹性探针。

5.根据权利要求4所述的高精密测高设备，其特征在于，所述夹具组件还包括定位块与传感器；所述定位块设置在底板的四周；所述传感器对称设置在底板的两侧。

6.根据权利要求1所述的高精密测高设备，其特征在于，所述升降装置包括顶升机构、第二支架和真空吸盘装置，所述顶升机构安装在第二支架上；所述顶升机构包括升降板，设在升降板上的顶升柱以及驱动升降板上下移动的升降驱动装置；所述真空吸盘装置包括吸盘、真空发生器和过滤器，所述吸盘、真空发生器与过滤器通过气管连接；所述吸盘设于所述顶升柱内；所述真空发生器与过滤器分别对称设置在第二支架上。

7.根据权利要求6所述的高精密测高设备，其特征在于，所述顶升柱设在升降板的四个角上。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的高精密测高设备，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置与三轴运动平台、测高装置、定位装置和升降装置电连接。

9.根据权利要求1所述的高精密测高设备，其特征在于，所述机架上方还设有FFU等离子风机。