[实用新型]研磨液供给装置及化学机械研磨系统有效
| 申请号： | 201821474304.1 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN208801223U | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 郭松辉;陆从喜;沈新林;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连通 研磨 研磨液供给装置 流量控制器 过滤装置 化学机械研磨系统 研磨液供应系统 本实用新型 化学机械研磨机台 恒温装置 研磨量 研磨液 节约 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨液供给装置，其特征在于，包含：
研磨液供应系统；
过滤装置；
第一管路，一端与所述研磨液供应系统连通，另一端与所述过滤装置连通；流量控制器；
第二管路，一端与所述过滤装置连通，另一端与所述流量控制器连通；
第三管路，一端与所述流量控制器连通，另一端与一化学机械研磨机台连通；至少一个恒温装置，至少设置于所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路中的一条管路上。
2.如权利要求1所述的研磨液供给装置，其特征在于，还包含：
用于采集所述第三管路内的研磨液温度的温度传感器，设置于所述第三管路上。
3.如权利要求1或2所述的研磨液供给装置，其特征在于，还包含：
阀门，设置于所述第一管路上。
4.如权利要求1或2所述的研磨液供给装置，其特征在于，
所述第一至第三管路中的仅一条管路上设置所述恒温装置。
5.如权利要求1或2所述的研磨液供给装置，其特征在于，所述第一至第三管路中的任意两条管路上分别设置所述恒温装置。
6.如权利要求1或2所述的研磨液供给装置，其特征在于，所述第一至第三管路上分别设有至少一个所述恒温装置。
7.一种化学机械研磨系统，其特征在于，包括：
化学机械研磨机台；以及
如权利要求1至6中任一项所述的研磨液供给装置。
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