[实用新型]一种LED结构有效
申请号: | 201821478090.5 | 申请日: | 2018-09-10 |
公开(公告)号: | CN208862013U | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 王君君;陈志涛;刘宁炀;何晨光;王巧 | 申请(专利权)人: | 广东省半导体产业技术研究院 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 梁香美 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 预应力层 本实用新型 量子阱层 模板层 光提取效率 调控 制作 | ||
1.一种LED结构,其特征在于,所述LED结构包括模板层、预应力层、N型氮化物层、量子阱层以及P型氮化物层,所述模板层、所述预应力层、所述N型氮化物层、所述量子阱层以及所述P型氮化物层逐层面连接,所述预应力层用于调控所述LED结构的应力。
2.如权利要求1所述的LED结构,其特征在于,所述预应力层包括周期性排布的AlxGa1-xN层与AlyGa1-yN层,其中,x与y的值均大于或等于0.4。
3.如权利要求2所述的LED结构,其特征在于,所述预应力层包括多个AlxGa1-xN层与AlyGa1-yN层,所述AlxGa1-xN层与AlyGa1-yN层交替排布,且x与y的值逐层增大,或逐层减小,或先增大后减小或先减小后增大。
4.如权利要求3所述的LED结构,其特征在于,所述x与y的值成等差数列逐层增大,或逐层减小,或先增大后减小或先减小后增大。
5.如权利要求2所述的LED结构,其特征在于,所述AlxGa1-xN层与所述AlyGa1-yN层的厚度均小于100nm。
6.如权利要求2所述的LED结构,其特征在于,x与y的值相等或不相等。
7.如权利要求1所述的LED结构,其特征在于,所述预应力层的厚度小于100nm。
8.如权利要求1所述的LED结构,其特征在于,所述模板层包括衬底与缓冲层,所述衬底与所述缓冲层面连接,所述缓冲层与所述预应力层面连接。
9.如权利要求8所述的LED结构,其特征在于,所述衬底至少包括蓝宝石衬底、Si衬底、SiC衬底、GaN单晶衬底或AlN单晶衬底中的一种。
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