[实用新型]水汽分析仪校准装置

权利要求书

1.一种水汽分析仪校准装置，其特征在于，包括水汽发生模块、水汽浓度测量模块和采样模块；

所述水汽发生模块采用双压分流结合法发生水汽，包括两级减压阀、第1三通阀和混合器，所述两级减压阀用于对管路中的气体进行两次降压，所述第1三通阀用于将通过所述两级减压阀降压后的气体分流到干气管路和湿气管路，所述混合器用于将所述干气管路中的干气和所述湿气管路中的湿气混合，从而发生水汽；

所述水汽浓度测量模块用于测量所述水汽发生模块发生的水汽浓度，

所述采样模块用于对所述水汽发生模块发生的水汽进行取样。

2.根据权利要求1所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，

所述水汽发生模块还包括：压缩气瓶和水汽饱和器，所述压缩气瓶用于存储并向管路提供压缩气体；所述水汽饱和器包括两级水汽饱和器，用于使进入水汽饱和器的气体水汽饱和，其中，所述干气管路与所述混合器相连通，所述湿气管路通过所述水汽饱和器与所述混合器相连通。

3.根据权利要求2所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，还包括第2三通阀，流经所述水汽饱和器的所述湿气管路中的气体与不流经所述水汽饱和器的所述干气管路中的气体通过所述第2三通阀在所述混合器中混合。

4.根据权利要求2或3所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，还包括计量阀，所述计量阀设置于所述水汽饱和器与所述混合器之间，用于对流经所述水汽饱和器的气体进行膨胀减压。

5.根据权利要求1-3中任意一项所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，还包括第2流量调节阀和第3流量调节阀，分别用于对所述干气管路中的气体和所述湿气管路中的气体进行流量控制。

6.根据权利要求1-3中任意一项所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，所述水汽浓度测量模块包括露点测试探头和压力测试探头，分别用于测试管路中气体的露点和压力。

7.根据权利要求1-3中任意一项所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，所述采样模块包括采样气管和采样腔，所述采样气管连通所述采样腔。

8.根据权利要求7所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，所述采样腔包括采样腔本体，所述采样腔本体内具有采样空腔，所述采样腔本体上设有与所述采样空腔连通的校准孔。

9.根据权利要求8所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，所述校准孔的上端面放置有校准片和两片滑板，所述两片滑板用于压紧所述校准片。

10.根据权利要求1-3中任意一项所述的水汽分析仪校准装置，其特征在于，还包括精密温度计，用于对水汽分析仪进行温度校准。