[实用新型]一种单晶炉用冷却系统

说明书

本实用新型公开的一种单晶炉用冷却系统，包括抽气装置、排气管道以及冷却管道。抽气装置一端连接排气管道，排气管道与单晶炉体连通，抽气装置另一端连接冷却管道，冷却管道与单晶炉体连通；抽气装置通过排气管道从单晶炉体内抽出高温气体并从冷却管道流入单晶炉体1内。即本实用新型的抽气装置用于通过排气管道从单晶炉体内抽出高温气体并从冷却管道流入单晶炉体内，使高温气体在单晶炉体外冷却。通过利用抽气装置配合排气管道和冷却管道对单晶炉内热空气进行内循环热交换，从而达到了快速冷却热场部件目的，缩短了停炉冷却时间，增加了单位产能，进而达到提产增效的效果。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉用冷却系统。

背景技术

直拉硅单晶制备过程中，单晶炉热场处于高温(1420℃±4℃)、低压(1-3kPa)氛围中，拉晶完成后，需将热场温度降至300℃以下确保热场部件不受氧化再进行拆炉。但由于受高真空条件限制，在单晶炉停炉后，只能被动利用单晶炉体夹层内循环水进行降温，由于单晶炉保温性较好，热场散热较慢，导致停炉冷却工步用时较长，工时浪费较严重。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉用冷却系统，解决现有的单晶炉停炉冷却时存在的散热速度慢的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：一种单晶炉用冷却系统，其特征在于，所述系统包括抽气装置、排气管道以及冷却管道；

所述抽气装置的一端与所述排气管道连通，所述排气管道与单晶炉体连通，所述抽气装置的另一端与所述冷却管道连通，所述冷却管道与所述单晶炉体连通；

所述抽气装置用于通过所述排气管道从所述单晶炉体内抽出高温气体并从所述冷却管道流入所述单晶炉体内，使所述高温气体在所述单晶炉体外冷却。通过利用抽气装置配合排气管道和冷却管道对单晶炉内热空气进行内循环热交换，从而达到了快速冷却热场部件目的，缩短了停炉冷却时间，增加了单位产能，进而达到提产增效的效果。

进一步的，所述系统还包括：第一冷却水套；所述第一冷却水套套设在所述冷却管道上。利用冷却水套中的冷水进行热交换，进一步提高了对高温气体的冷却效率。

优选的，所述排气管道设置有多条，多条所述排气管道的一端均与所述单晶炉体连通，多条所述排气管道的另一端均与所述抽气装置连通。在不改变其他部件结构，只需将排气管道设置多条，即可实现冷却效率的相应倍增。

进一步的，所述系统还包括：第二冷却水套；所述第二冷却水套套设在所述排气管道上。通过在排气管道上设置冷却水套，从而使得高温气体在单晶炉体外的热交换时间增加，进一步提高了高温气体的冷却效率。

进一步的，所述系统还包括：冷却球阀；所述冷却球阀的一端与所述抽气装置连通，所述冷却球阀的另一端与所述冷却管道连通。

事例性的，所述抽气装置为干式螺杆真空泵。

进一步的，所述系统还包括：抽真空装置；所述抽真空装置与所述排气管道连通。这样抽真空装置与排气管道可共用管路，降低了对原有结构的改造成本。

进一步的，所述系统还包括：抽真空球阀；所述抽真空球阀的一端与所述排气管道连通，所述抽真空球阀的另一端与所述抽真空装置连通。

事例性的，所述抽真空装置为湿式滑阀泵。

进一步的，所述抽真空装置、抽气装置和排气管道通过三通连接件相连。利用三通连接件实现了抽真空装置、抽气装置和排气管道的简便连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种单晶炉用冷却系统，解决现有的单晶炉停炉冷却时存在的散热速度慢的问题。具体来说具有以下优点：