[实用新型]一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内腔开设有真空镀膜室，所述真空镀膜室下方开设有收料室，所述收料室一侧通过铰链连接有柜门，所述柜门表面镶嵌有观察窗，所述观察窗一侧焊接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆一端通过卡扣连接有支杆，所述支杆表面粘连有绒毛毡布，所述电动伸缩杆一侧通过卡扣连接有清洁剂瓶，所述收料室内腔顶部焊接有电推杆。本实用新型通过雾化喷头将清洁剂生成水雾喷洒在观察窗上，并通过电动伸缩杆带动绒毛毡布在观察窗上移动，对观察窗表面吸附的镀膜料进行清理，通过电推杆推动张紧辊与基材相贴合，使基材在一号导向辊和二号导向辊上绷紧。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别涉及一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

真空镀膜机在镀膜完成后对材料进行收卷时，容易产生绕卷不紧发生松散的现象，而且在收卷过程中镀膜的涂料会飞溅到观察窗上，影响观察收卷时的情况。为此。我们提出一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机，通过雾化喷头将清洁剂生成水雾喷洒在观察窗上，并通过电动伸缩杆带动绒毛毡布在观察窗上移动，对观察窗表面吸附的镀膜料进行清理，通过电推杆推动张紧辊与基材相贴合，使基材在一号导向辊和二号导向辊上绷紧，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内腔开设有真空镀膜室，所述真空镀膜室下方开设有收料室，所述收料室一侧通过铰链连接有柜门，所述柜门表面镶嵌有观察窗，所述观察窗一侧焊接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆一端通过卡扣连接有支杆，所述支杆表面粘连有绒毛毡布，所述电动伸缩杆一侧通过卡扣连接有清洁剂瓶，所述收料室内腔顶部焊接有电推杆，所述电推杆一端转动连接有张紧辊。

进一步地，所述箱体底部焊接有支腿，所述支腿一端粘连有橡胶减震垫。

进一步地，所述真空镀膜室一侧通过铰链连接有箱盖，所述箱盖表面转动连接有密封转盘。

进一步地，所述观察窗上方通过螺钉连接有PVC管，所述PVC管旋转连接有雾化喷头，所述清洁剂瓶一侧可拆卸连接有水泵，所述清洁剂瓶通过胶皮软管与水泵相连接且PVC管通过胶皮软管与水泵相连接。

进一步地，所述张紧辊一侧转动连接有一号导向辊，所述张紧辊另一侧转动连接有二号导向辊，所述二号导向辊下方转动连接有收料辊。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.清洁剂瓶通过胶皮软管与水泵相连接且PVC管通过胶皮软管与水泵相连接，通过水泵将清洁剂瓶内的清洁剂抽出输送至PVC管内，并通过雾化喷头将清洁剂生成水雾喷洒在观察窗上，便于清洁。

2.电动伸缩杆一端通过卡扣连接有支杆，且支杆表面粘连有绒毛毡布，绒毛毡布与观察窗紧密贴合，通过电动伸缩杆带动绒毛毡布在观察窗上移动，对观察窗表面吸附的镀膜料进行清理。

3.通过电推杆推动张紧辊与基材相贴合，使基材在一号导向辊和二号导向辊上绷紧，通过外接电机驱动收料辊转动，使收料辊对基材进行收卷，避免收卷时出现松散的现象。

附图说明

图1为本实用新型一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机的柜门结构示意图。

图3为本实用新型一种卷绕式磁控溅射真空镀膜机的收料室内腔结构示意图。