[实用新型]一种微小气体流量计校准装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种微小气体流量计校准装置，包括驱动机构、传动机构、光栅尺、基座、对称柱塞、第一缸体和第二缸体，所述驱动机构与传动机构的一端连接，所述传动机构包括T型传动块，T型传动块的一端通过光栅连接块与光栅尺的测头连接，光栅尺设置在所述基座一侧，基座一端设置有第一缸体，另一端设置有第二缸体，T型传动块与对称柱塞连接，所述对称柱塞两端分别与第一缸体和第二缸体同轴连接，所述第一缸体通过连接管道与第二缸体连通，所述连接管道上并联设置有单向流量指示器和双向流量指示器。本实用新型可用于中高压气体测量，具有精度高、压力可调、工作可靠、操作方便、检定时间短等优点。

技术领域

本实用新型涉及一种气体流量计校准装置，尤其是涉及一种微小气体流量计的校准装置。

背景技术

近年来，气体微小流量测量与控制在半导体制造业、医学化工、食品卫生、生物工程、高新技术等领域的应用越来越普遍，微小流量相关器具的检定校准成为当下流量计量领域的重要分支之一。通过查阅微小气体流量计量与标准装置相关文献可知，管道内气体流量小于10mL/min的流量为微小流量。

当前，微小气体流量计量技术主要有以下几种：皂膜式装置法、压力体积温度时间(PVTt)法、质量时间(mt)法、恒压式、变容积法等，随着机电技术的发展，变容积法发展迅速，其中以活塞式最为典型。

目前国际上已投入使用的活塞式气体流量标准装置分为主动式和被动式两种。其中主动式活塞标准装置是以精密加工的活塞件作为计量基准，通过伺服电机或步进电机等驱动设备推动活塞件运动，活塞平稳运动的过程中将持续产生稳定、可调的气体流量，最后气体通过试验管路和被检流量计排出。另外校验过程中通过光栅尺等反馈系统实时测量活塞运动距离。根据简单公式计算即可得到标准装置在一定时间内排出的气体体积值，进而实现流量计的计量。而被动式活塞标准装置与主动式活塞标准装置的主要区别在于，装置结构缺少了动力驱动设备，活塞只能依靠流体介质与管道之间的压力进行运动。

传统的主动式活塞标准装置是由动力机构直接驱动活塞或柱塞平稳移动，由空间挤压产生稳定的流量。在进行微小流量计量时，一方面空间的挤压会改变气体的状态，使得计量精度降低，另一方面，如果高压条件下计量器具，动力机构会有巨大的负荷，难以实现。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种微小气体流量计校准装置，包括驱动机构、传动机构、光栅尺、基座、对称柱塞、第一缸体和第二缸体，所述驱动机构与传动机构的一端连接，所述传动机构包括T型传动块，所述光栅尺设置在所述基座一侧，所述T型传动块的一端通过光栅连接块与光栅尺的测头连接，所述T型传动块竖直部与对称柱塞连接，所述基座两端分别设置有第一缸体和第二缸体，所述对称柱塞两端分别与第一缸体和第二缸体同轴连接，所述第一缸体通过连接管道与第二缸体连通，所述连接管道上并联设置有单向流量指示器和双向流量指示器。

进一步地，所述第一缸体远离基座的一端设置有第一腔体，所述第二缸体远离基座的一端设置有第二腔体，所述第一腔体和第二腔体上都装有温度传感器和压力传感器，所述第二腔体的出气端与被检流量计的进气端连通，所述被检流量计的出气端与调节阀连通。

进一步地，所述驱动机构包括电机、减速器、减速器座和联轴器，所述电机与固定在所述减速器座上的减速器连接，所述减速器经联轴器与丝杆的一端连接。

进一步地，所述传动机构包括丝杆、导轨滑块组和T型传动块，所述丝杆通过丝杆固定座安装在所述基座上，所述丝杆通过螺母与T型传动块连接，所述T型传动块通过导轨滑块组与基座滑动连接。

进一步地，所述导轨滑块组、丝杆和对称柱塞平行设置于所述T型传动块下方，且与T型传动块保持垂直。

进一步地，所述T型传动块的竖直部设置有对称柱塞穿过的通孔，所述对称柱塞通过柱塞固定块与T型传动块连接。