[实用新型]一种电感耦合等离子体处理器有效
| 申请号： | 201821494654.4 | 申请日： | 2018-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN209057396U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 赵馗;饭塚浩;倪图强;庞晓贝 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频偏压电源 射频匹配网络 处理器 电感耦合等离子体 输出信号频率 本实用新型 感应天线 有效地 真空室 等离子体 工作频率 匹配网络 偏压功率 偏压频率 射频电源 耦合 可切换 晶圆 连通 施加 室内 支撑 | ||
1.一种电感耦合等离子体处理器，其特征在于：所述处理器包括：
真空室，所述真空室上方设置一个感应天线，所述感应天线连接到一个源射频电源；
所述真空室内设置一基座，所述基座上方用于支撑待处理晶圆；
第一射频偏压电源和第二射频偏压电源通过一可切换匹配网络，选择性地将第一、第二射频偏压电源中的其中之一连通到所述基座中；
其中第一射频偏压电源的输出信号频率大于第二射频偏压电源的输出信号频率。
2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，所述可切换匹配网络包括：
第一匹配电路，其具有连接至第一射频偏压电源的第一输入端口和耦合至所述基座的第一输出端口；
第二匹配电路，其具有连接至第二射频偏压电源的第二输入端口和耦合至所述基座的第二输出端口；
一侧接地的可变电容器；
开关装置，其将所述可变电容器选择性地连接至所述第一输入端口或所述第二输出端口。
3.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，其中第一射频偏压电源的输出信号频率大于等于2MHz小于等于60MHz，第二射频偏压电源的输出信号频率大于等于100KHz小于等于2MHz。
4.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，源射频电源的输出信号频率大于等于13.56MHz。
5.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，其中第二射频偏压电源的输出信号频率大于100KHz小于400KHz。
6.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，其中第二射频偏压电源的输出信号频率为100KHz。
7.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，其中第二射频偏压电源的输出信号频率为400KHz。
8.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，所述第二输出端口和所述基座之间设置一耦合开关。
9.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，所述第一输出端口和所述基座之间设置一耦合开关。
10.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，所述第一匹配电路和所述第二匹配电路分别包括串联连接的电容器和电感器。
11.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，所述第二输出端口和所述第一输出端口之间设置耦合开关。
12.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，其中所述开关装置包括选择开关，所述选择开关具有基极、第一触点和第二触点，所述基极连接至所述可变电容器，所述第一触点可连接至所述第一输入端口，所述第二触点可连接至所述第二输出端口。
13.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，所述开关装置包括：连接在所述第一输入端口和所述可变电容器之间的第一通/断开关，以及连接在所述第二输出端口和所述可变电容器之间的第二通/断开关。
14.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，所述第二输入端口和电接地端之间设置固定电容器。
15.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理器，其特征在于，其中所述第一射频偏压电源输出的频率大于第二射频偏压电源输出频率，两个射频偏压电源的输出频率相差20倍。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司，未经中微半导体设备（上海）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821494654.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：碳同素异形体复合物场效应人造极光发生装置
- 下一篇：一种电子感应加速器
