[实用新型]一种设置循环水道的水冷板有效

专利信息
申请号: 201821500479.5 申请日: 2018-09-13
公开(公告)号: CN208748187U 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 松本光裕 申请(专利权)人: 京浜乐梦金属科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/54
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 循环水道 通气管 底板 回水通道 冷却板 盖板 分部 进水管 并行 本实用新型 热交换能力 一体式结构 回水温差 进水通道 整体冷却 不均匀 回水管 冷却液 流量阀 水冷板 错开 冷气 吹出 吹气 进水 伸入 水冷 水道 贯穿
【说明书】:

实用新型公开了一种设置循环水道的水冷板,包括底板和盖板,所述底板和盖板内设置有多个一体式结构的分部,每个分部内均设置有循环水道,所述循环水道为进、回水通道并行的水道,还包括与进水通道连接的进水管和与回水通道连接的回水管,所述进水管上连接有流量阀,用于调节每个分部内冷却液的流量,所述盖板上错开所述循环水道的位置上还设有贯穿的气孔,还包括通气管,所述通气管伸入底板内,所述通气管位于循环水道下方,本实用新型提供的冷却板通过在冷却板内设置进、回水通道并行的循环水道,解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题,同时气孔与通气管的设置,当进行吹气操作时,可以吹出冷气,加强冷却板的热交换能力。

技术领域

本实用新型涉及一种冷却装置,特别涉及一种设置循环水道的水冷板。

背景技术

在液晶半导体成膜过程中,靶材受到高速荷能粒子连续轰击,会产生高温,易造成靶材损坏。于是需要通过冷却背板,对靶材持续进行冷却,且因为靶材寿命有限,靶材在使用设定的次数后,需要进行更换,于是需要人工记录靶材使用的次数,这样的方式,工作繁琐,且容易出错,目前的冷却板结构大多采用厚板中深孔钻加工出单回路水道、水管直接折弯成型的结构。这种厚板深孔钻加工水道结构受加工工艺限制,大多为一进、一出单回路水道,冷却效率低,进水侧与回水侧温差大,整板温度均匀性差,严重影响了设备整体的工艺节拍;并且水管折弯成型的排管结构因各管道之间缝隙多,大面积使用时多将水管固定于平板上,管与平板之间的热传导效果差、维护清理工作量大。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种解决自身温度不均的一种设置循环水道的水冷板。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种设置循环水道的水冷板,包括底板和盖板,所述底板和盖板内设置有多个一体式结构的分部,所述每个分部内均设置有循环水道,所述循环水道为进、回水通道并行的水道,还包括与进水通道连接的进水管和与回水通道连接的回水管,所述进水管上连接有流量阀,用于调节每个分部内冷却液的流量,所述盖板上错开所述循环水道的位置上还设有贯穿的气孔,还包括通气管,所述通气管伸入底板内,所述通气管位于循环水道下方。

进一步的是:还包括多个温度传感器,所述每个温度传感器依次设置在各个分部内,用于检测各分部的温度。

进一步的是:所述底板和盖板通过摩擦搅拌焊接固定。

进一步的是:述盖板上设置有与温度传感器连接的计数模块。

本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的冷却板通过在冷却板内设置进、回水通道并行的循环水道,解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题,同时由于流量阀和温度传感器的设置使得可对各个分部的冷却液流量进行控制,以使得板体上各个区域的冷却效果一致,同时也提高了冷却效率,且计数单元可以记录所述靶材的使用次数及剩余寿命,记录方便精确,同时气孔与气管的设置,当进行吹气操作时,可以有效带走热量,加强冷却板的热交换能力。

附图说明

图1为冷却板示意图。

图中标记为:底板1、盖板2、循环水道3、进水管4、回水管5、流量阀6、温度传感器7、气孔8、通气管9、计数模块10。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

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