[实用新型]一种还原炉硅粉吸收装置

说明书

本实用新型公开一种还原炉硅粉吸收装置，通过在还原炉底盘内设置导管，再与缓冲箱、除尘器、射流真空系统连接，可以有效的吸走还原炉底部，硅棒之间掉落的难以清除的硅粉，并且在除尘器上安装了压力释放结构与报警结构，有效的避免了扬尘，提高了生产的安全性，将生产过程中可能的安全风险降到最低，同时也有益于作业人员的身体健康。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅制备领域，特别涉及一种还原炉硅粉吸收装置。

背景技术

多晶硅是制造光伏发电的太阳能电池片的基础材料。同时，以电子级多晶硅为原料生产的单晶硅是电子信息产业的基础材料，是生产大规模集成电路、半导体分离元件、电力电子器件的原材料。目前国际上多晶硅生产工艺有70％以上采用改良西门子法。所谓西门子法，也被称作三氯氢硅氢还原法，是一种在还原炉内通过发生化学反应来生成多晶硅的方法。

现有24对棒多晶硅还原炉的生产过程中，常会在还原炉底部，硅棒之间掉落许多硅粉，难以清除，掉落的硅粉在轻扫时容易扬起，不但影响硅棒质量，更会影响工人健康。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种还原炉硅粉吸收装置，通过在还原炉底盘内设置导管，再与其他装置连接，可以有效的吸走还原炉底部，硅棒之间掉落的难以清除的硅粉，有效的避免了扬尘，提高了生产的安全性，同时也有益于作业人员的身体健康。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案为采用一种还原炉硅粉吸收装置，硅粉吸收装置包括依次连接的还原炉、导管、缓冲箱、除尘器以及射流真空系统，导管入口设置于还原炉底盘内，导管出口与缓冲箱入口连接。

优选的，导管上端还设置有多个集尘口，集尘口连通还原炉底部与导管上壁，集尘口开口处位于硅棒之间，集尘口为上宽下窄的漏斗形。

优选的，缓冲箱内部还设置有缓冲板，缓冲板为对称的两块，两块缓冲板在缓冲箱内部形成沙漏状的缓冲空间。

优选的，缓冲箱还包括过滤网，过滤网设置于缓冲箱上部两块缓冲板之间，过滤网水平设置。

优选的，除尘器一侧底部设置有压力释放结构，压力释放结构包括依次连接的泄压管，法兰环，泄压管固定连接于除尘器一侧底部，法兰环与泄压管可拆卸连接，在法兰环与泄压管之间还设置有铝箔，铝箔通过法兰环固定于泄压管管口处。

优选的，除尘器另一侧底部还设置有报警结构，报警结构包括依次连接的压力传感器与声光报警器。

优选的，除尘器为布袋除尘器与旋风除尘器中的一种。

优选的，还原炉硅粉吸收装置还包括贮粉箱，贮粉箱与除尘器连接，贮粉箱入口与除尘器底部出口之间设置有连接通路，连接通路上还设置有第一控制阀。

优选的，除尘器与射流真空系统之间还设置有第二控制阀，射流真空系统包括依次连接的真空罐、喷射器、蓄水罐以及电力水泵。

本实用新型提供了一种还原炉硅粉吸收装置，包括依次连接的还原炉、导管、缓冲箱、除尘器以及射流真空系统，导管入口设置于还原炉底盘内，导管上端还设置有多个集尘口，集尘口为漏斗形，集尘口连通还原炉底部与导管上壁，并且集尘口的开口位于硅棒之间。当整个硅粉吸收装置运行时，散落在硅棒之间，还原炉底部的难以清除的硅粉便可通过集尘口进入导管中，集尘口特殊的形状可带来较好的集尘效果。

在与导管连接的装置中，首先有一个内部设置了缓冲板的缓冲箱，硅粉在这一装置可以进行初步的缓冲与过滤，为后续装置的运行减轻了压力，之后硅粉进入除尘器，本发明的除尘器还安装了压力释放结构与报警结构，当除尘器内压力过大，或者除尘器内粉尘开始燃烧，泄压管上的铝箔会先被压力冲破，迅速降低除尘器中的压力，避免爆炸的发生。并且除尘器上还设有依次电连接的压力传感器和声光报警器，压力传感器预先设定允许的最高压力值，当除尘器内压力超过预设压力时，声光报警器报警，使得操作人员有时间及时处理，避免进一步的安全事件发生。