[实用新型]一种还原炉装炉装置有效

专利信息
申请号: 201821507700.X 申请日: 2018-09-14
公开(公告)号: CN208802834U 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 余涛;刘晓彬 申请(专利权)人: 四川永祥多晶硅有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王学强;罗满
地址: 614800 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 石墨卡瓣 柔性石墨垫 还原炉 卡瓣 装炉 本实用新型 耐高温涂层 表面涂布 电磁震荡 合理设置 还原过程 石墨螺帽 稳固性 切削 硅棒 硅芯 缓冲 夹持 减小 碳质 下端 分段 污染
【权利要求书】:

1.一种还原炉装炉装置,包括石墨螺帽、石墨卡瓣以及石墨底座,所述石墨底座下部设置卡槽与电极卡合,所述石墨卡瓣夹持硅芯置于石墨底座上部,所述石墨螺帽套合在石墨底座与石墨卡瓣的连接部外围,所述石墨卡瓣中心设置有垂直的圆孔,其特征在于,所述石墨卡瓣为圆锥形,包括由上至下依次连接的第一石墨卡瓣与第二石墨卡瓣,所述第二石墨卡瓣的直径大于第一石墨卡瓣的直径,所述第一石墨卡瓣与第二石墨卡瓣四等分切削为四瓣。

2.根据权利要求1所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨卡瓣的直径为40mm-70mm,所述第一石墨卡瓣的直径为40mm-50mm,所述第二石墨卡瓣的直径为50mm-70mm。

3.根据权利要求2所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述分切削切口宽度为1.0mm-2.5mm。

4.根据权利要求3所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨底座上部外侧具有外螺纹,所述石墨螺帽内侧具有内螺纹,所述石墨底座外螺纹与石墨螺帽内螺纹相匹配。

5.根据权利要求4所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨底座直径为60mm-80mm。

6.根据权利要求5所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨底座卡槽内侧设置有内圆锥斜面,所述石墨底座卡槽外侧设置有外圆锥斜面,所述内圆锥斜面为导电接触面,所述硅芯底部与电极顶部之间还设置有缓冲孔。

7.根据权利要求6所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨卡瓣与石墨螺帽表面涂布有涂层,所述涂层选自碳化硅、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中的一种。

8.根据权利要求7所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述涂层为连续的一层或多层,所述涂层厚度为350μm-650μm。

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