[实用新型]一种还原炉装炉装置有效
申请号: | 201821507700.X | 申请日: | 2018-09-14 |
公开(公告)号: | CN208802834U | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 余涛;刘晓彬 | 申请(专利权)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王学强;罗满 |
地址: | 614800 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨卡瓣 柔性石墨垫 还原炉 卡瓣 装炉 本实用新型 耐高温涂层 表面涂布 电磁震荡 合理设置 还原过程 石墨螺帽 稳固性 切削 硅棒 硅芯 缓冲 夹持 减小 碳质 下端 分段 污染 | ||
1.一种还原炉装炉装置,包括石墨螺帽、石墨卡瓣以及石墨底座,所述石墨底座下部设置卡槽与电极卡合,所述石墨卡瓣夹持硅芯置于石墨底座上部,所述石墨螺帽套合在石墨底座与石墨卡瓣的连接部外围,所述石墨卡瓣中心设置有垂直的圆孔,其特征在于,所述石墨卡瓣为圆锥形,包括由上至下依次连接的第一石墨卡瓣与第二石墨卡瓣,所述第二石墨卡瓣的直径大于第一石墨卡瓣的直径,所述第一石墨卡瓣与第二石墨卡瓣四等分切削为四瓣。
2.根据权利要求1所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨卡瓣的直径为40mm-70mm,所述第一石墨卡瓣的直径为40mm-50mm,所述第二石墨卡瓣的直径为50mm-70mm。
3.根据权利要求2所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述分切削切口宽度为1.0mm-2.5mm。
4.根据权利要求3所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨底座上部外侧具有外螺纹,所述石墨螺帽内侧具有内螺纹,所述石墨底座外螺纹与石墨螺帽内螺纹相匹配。
5.根据权利要求4所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨底座直径为60mm-80mm。
6.根据权利要求5所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨底座卡槽内侧设置有内圆锥斜面,所述石墨底座卡槽外侧设置有外圆锥斜面,所述内圆锥斜面为导电接触面,所述硅芯底部与电极顶部之间还设置有缓冲孔。
7.根据权利要求6所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述石墨卡瓣与石墨螺帽表面涂布有涂层,所述涂层选自碳化硅、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中的一种。
8.根据权利要求7所述的还原炉装炉装置,其特征在于,所述涂层为连续的一层或多层,所述涂层厚度为350μm-650μm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川永祥多晶硅有限公司,未经四川永祥多晶硅有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821507700.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种生产饲料级磷酸氢钙的装置
- 下一篇:一种多晶硅还原炉尾气输送结构