[实用新型]一种硅片切割硅泥回收利用系统

说明书

本实用新型公开一种硅片切割硅泥回收利用系统，包括传送装置，用于输送硅泥，所述传送装置穿过微波干燥设备与熔炼炉对接，所述熔炼炉设置有还原物料入口，所述还原物料入口用于通入碳粉，本系统可以有效利用硅片切割后得到的硅泥中的硅，对硅泥中的硅进行提纯应用于多晶硅生产中，降低了多晶硅生产成本，具有节约能源，可行性高的优点。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割后的硅泥回收领域，具体涉及一种硅片切割硅泥回收利用系统。

背景技术

目前，硅片加工生产中一般通过金刚线切割硅锭，金刚线切割技术通过电镀或树脂粘结有金刚石磨料的钢线对硅棒或硅锭进行磨削。

金刚石在切割硅棒或硅锭时，为了保证加工精度提高硅片的表面质量，需要辅助切割液对切割面进行润滑冲洗，形成硅泥。硅泥中包括金刚线在切割硅棒或硅锭过程中产生的硅粉与金刚石磨料脱落残余，该硅粉的平均尺寸为1-5μm，硅泥中液体成分包括水、二乙二醇或乙二醇或聚乙二醇等切削液乳化剂，以及表面活性剂等。由于“硅泥”中硅粉的尺寸较小，且含有水分和非硅杂质，回收再利用难度较高。一般通过经过干燥脱水作为耐火材料使用，或简单烧结后作为钢铁冶炼原料使用，导致大量的硅泥无法有效回收应用于多晶硅加工中。由于硅泥价格低廉，且无法有效重复利用于硅片加工，限制了多晶硅生产成本，造成了能源浪费。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种硅片切割硅泥回收利用系统，利用本系统可以有效利用硅片切割后得到的硅泥中的硅，对硅泥中的硅进行提纯应用于多晶硅生产中，降低了多晶硅生产成本，具有节约能源，可行性高的优点。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是一种硅片切割硅泥回收利用系统，包括传送装置，用于输送硅泥，所述传送装置的一端设置有板式压滤机，所述传送装置穿过微波干燥设备与熔炼炉对接，所述熔炼炉上还设置有还原物料入口。

优选的，所述板式压滤机的底部设置有分布器，所述分布器位于所述传送装置一端的正上方，所述分布器用于将压滤后的硅泥均匀分布在所述传送装置上。

优选的，所述微波干燥设备包括若干并列设置的干燥箱体，所述传送装置依次穿过所述干燥箱体。

优选的，每一所述干燥箱体内均设置有微波发生器，所述干燥箱体的上方设置有第一负压排气装置，所述第一负压排气装置联通有第一尾气吸收装置。

优选的，所述微波发生器用于发出2300MHz-2500MHz的微波。

优选的，所述第一尾气吸收装置为喷淋吸附装置。

优选的，所述熔炼炉具体为中频感应熔炼炉，所述熔炼炉上设置有物料入口，所述熔炼炉的物料入口联通有物料存储器，所述物料存储器设置于传送装置末端的正下方，所述熔炼炉的底部设置有物料出口。

优选的，所述熔炼炉的底部设置有第一保护气体入口，所述熔炼炉的顶部设置有第二负压排气装置，所述第二负压排气装置联通有第二尾气吸收装置；所述还原物料入口用于通入碳粉。

本申请与现有技术相比，其详细说明如下：

本申请公开了一种硅泥回收利用系统，板式压滤机用于将硅泥中多余的切削液分离，去除多余的水分和溶解在水中的部分有机物，提高微波干燥设备的干燥效率。

微波干燥设备对压滤后的硅泥进行烘干，压滤后的硅泥中的水分在微波加热的作用下蒸发，易挥发的有机物受热挥发排出，经第一尾气吸收装置淋洗处理。此外，由于硅泥受热易与空气接触使部分硅氧化形成二氧化硅，故需使微波干燥设备内部保证一定真空度，防止硅在微波干燥过程中受热氧化，提高硅泥脱水干燥收率。微波对硅泥中水、有机挥发分去除率达到99.9％以上。

熔炼炉内吹扫惰性气体保护，干燥的硅粉熔融，逐渐形成金属硅熔液，提高金属硅收率，具有节能、排放少、成本低的优点。