[实用新型]还原炉开工置换气处理系统

说明书

本实用新型公开一种还原炉开工置换气处理系统，包括若干还原炉，所述还原炉的排气口并联于废气输送管道上，所述废气输送管道的一端并联有一个或多个排气管，所述排气管的一端设置于中和罐中，所述中和罐内设置有喷淋洗涤装置，用于向中和罐内喷淋洗涤液，所述排气管的末端位于所述中和罐内洗涤液的液面下方，本实用新型所公开的处理系统能够有效的对开工置换出的置换气进行中和处理，可以有效避免置换其中的酸性气体排放至大气中，保护环境，具有环保、污染小的优点。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅还原炉废弃处理领域，具体涉及一种还原炉开工置换气处理系统。

背景技术

多晶硅作为制造单晶硅的原料，一般采用氢还原三氯氢硅方法制备获得。氢气通入还原炉中，将三氯氢硅还原成硅。

为保证还原炉中还原工艺的稳定进行，每次还原炉在重新开工时，需要通入氮气，将还原炉中的空气、水泡和残余的酸性气体置换出后，将硅芯加热后再通入氢气置换掉其中的氮气，直至硅芯温度达到工艺要求，再加入TCS后开始反应，反应在硅芯表面进行，硅芯逐渐沉寂变粗，产生的尾气中包含有氯硅烷、盐酸和氢气，需对尾气进行分离回收，获得四氯化硅。

由于还原炉开机时，依次通入的氮气和氢气中会混杂着水泡和酸性气体，现多晶硅生产企业仅通过尾气分离设备对还原反应生成的尾气进行回收处理，开工置换出的置换气则无法有效处理，导致置换气中的酸性气体排放进入大气中，造成环境污染。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供一种还原炉开工置换气处理系统，能够有效的对开工置换出的置换气进行中和处理，可以有效避免置换其中的酸性气体排放至大气中，保护环境，具有环保、污染小的优点。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是还原炉开工置换气处理系统，包括若干还原炉，所述还原炉的排气口并联于废气输送管道上，所述废气输送管道的一端并联有一个或多个排气管，所述排气管的一端设置于中和罐中，所述中和罐内设置有喷淋洗涤装置，用于向中和罐内喷淋洗涤液，所述排气管的末端位于所述中和罐内洗涤液的液面下方。

优选的，所述排气管的下端的管径大于所述排气管上端的管径。

优选的，所述排气管下端密闭，所述排气管上均匀分布有若干排气孔，所述排气孔位于所述中和罐内洗涤液的液面下方。

优选的，所述中和罐的上方设置有置换气回收管道，所述置换气回收管道连接有置换气回收设备，所述置换气回收管道于所述置换气回收设备之间还设置有干燥装置。

优选的，所述喷淋洗涤装置连接有洗涤液储罐，所述喷淋洗涤装置用于向中和罐内喷淋洗涤液。

优选的，所述中和罐内还设置有废液中和装置，所述废液中和装置用于向所述中和罐内加注碱液或投放碱性中和剂。

优选的，所述废气输送管道上设置有第一阀门，所述第一阀门和所述还原炉的排气口之间联通有尾气回收管道，所述尾气回收管道上设置有第二阀门，所述尾气回收管道的另一端连接尾气回收装置。

本申请与现有技术相比，其详细说明如下：

本申请公开一种还原炉开工置换气处理系统，用于将还原炉开工的置换气通入中和罐中，通过喷淋洗涤去除置换气中的酸性气体，中和罐中存储有中和后废弃的洗涤液，所述排气管的末端位于洗涤液的液面下方，当排气管内通入的置换气送入中和罐中时，置换气先由中和罐内存储废弃的洗涤液进行中和，再升至液面上方由喷淋装置进行喷淋洗涤去除其中剩余的酸性气体和杂质，本申请的技术方案不仅可以有效对置换气净化处理，还能够利用废弃的洗涤液，具有处理效果好、节能环保的优点。

中和罐中洗涤后的置换气为氮气或氢气，可以直接外排，也可以经干燥装置去除水分之后送入置换气回收设备，置换气回收设备可以为气体中转的容器，也可以为加压降温使气体液化的分离设备，置换气回收设备可以充分利用净化后的置换气，具有节能环保的优点。