[实用新型]光纤耦合装置、光纤耦合系统及激光器

说明书

本实用新型涉及一种光纤耦合装置、光纤耦合系统及激光器。光纤耦合装置包括筒体、光纤及聚光件。筒体呈中空结构，具有收容腔。光纤至少部分收容于收容腔内，光纤具有入光孔。聚光件收容于收容腔内，并与光纤间隔设置，聚光件与光纤远离入光孔的一端光连接，光纤和/或聚光件沿收容腔的轴线可滑动，以调节光纤与聚光件之间的距离。本实用新型提供的光纤耦合装置、光纤耦合系统及激光器具有功率波动小，功率可优化的特点。

技术领域

本实用新型涉及激光器技术领域，尤其涉及一种光纤耦合装置、光纤耦合系统及激光器。

背景技术

通常，使用激光器对晶圆进行激光打标。激光器内设置有光纤及与光纤光连接的聚光件。光纤用于接收泵浦源，并传递至聚光件。一般情况下，聚光件从光纤中接收的泵浦源是发散的，聚光件具有聚光作用，可对发散的泵浦源进行聚光，以形成具有光斑的激光，并发射至晶圆上打标。然而，在泵浦源的光纤耦合系统中，光纤输出端端面到聚光件入射面的距离要求十分精确，这给激光器的装调带来了一定困难，若此空间长度达不到精度要求，会直接影响激光器输出功率的高低，导致激光器的输出功率波动较大。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的激光器功率波动大的问题，提供一种可对输出功率进行优化，使得输出功率波动较小的光纤耦合装置、光纤耦合系统及激光器。

一种光纤耦合装置，包括：

呈中空结构的筒体，具有收容腔；

光纤，至少部分收容于所述收容腔内，所述光纤具有入光孔；

收容于所述收容腔内的聚光件，与所述光纤间隔设置，所述聚光件与所述光纤远离所述入光孔的一端光连接，所述光纤和/或所述聚光件沿所述收容腔的轴线可滑动，以调节所述光纤与所述聚光件之间的距离。

在其中一个实施例中，所述光纤沿所述收容腔的轴线可滑动，所述聚光件固定于所述收容腔内。

在其中一个实施例中，还包括螺钉，所述光纤呈中空筒状结构，包括头部及与所述头部连接的尾部，所述尾部与所述聚光件光连接，所述筒体的侧壁开设有螺孔，所述螺钉穿设于所述螺孔并与所述尾部的外壁抵持。

在其中一个实施例中，所述聚光件包括两个沿收容腔的轴线方向平行且间隔设置的第一透镜及第二透镜，所述第一透镜及所述第二透镜均为平凸镜，所述平凸镜具有平面及与所述平面相对设置的凸面，所述第一透镜及所述第二透镜的凸面相对设置，所述第一透镜的平面朝向所述光纤。

在其中一个实施例中，还包括收容于所述收容腔内的环形压盖、套筒及环形板，所述环形板的外边缘与所述收容腔的内壁贴合，以将所述收容腔分隔形成相互连通的光纤收容腔及聚光收容腔，所述聚光件收容于所述聚光收容腔，所述第一透镜的所述平面与所述环形板的一侧抵接，所述套筒夹持于所述第一透镜与所述第二透镜之间，并与所述第一透镜及所述第二透镜的所述凸面抵接，所述筒体的一端开设有与所述聚光收容腔连通的出光孔，所述环形压盖覆盖于所述出光孔并与所述第二透镜的所述平面抵接。

在其中一个实施例中，所述环形压盖与所述筒体相对的位置设置有外螺纹结构，所述筒体设置出光孔的一端设置有内螺纹结构，所述内螺纹结构与所述外螺纹结构螺合。

一种光纤耦合系统，包括：

夹具本体，包括底板及可移动地设置于所述底板的活动板；及

如上述光纤耦合装置，所述光纤耦合装置固定于所述活动板，所述活动板移动，可带动所述光纤耦合装置沿垂直于所述底板的方向滑动或相对所述底板倾斜。