[实用新型]一种可调角度靶材磨斜边机

说明书

本实用新型涉及一种可调角度靶材磨斜边机，包括工作台、机架、Y轴电动滑台、X轴电动滑台和两个Z轴电动滑台，所述Y轴电动滑台安装在机架上，工作台滑动安装在Y轴电动滑台上，X轴电动滑台安装在位于Y轴电动滑台一侧的机架上，一个Z轴电动滑台滑动安装在X轴电动滑台上，另一个Z轴电动滑台安装在位于Y轴电动滑台另一侧的机架上，两个Z轴电动滑台上均设置有电动旋转轴，电动旋转轴上安装有磨头电机，磨头电机上安装有磨头。本实用新型可以在0‑180度范围内精确控制磨斜边角度，实现精确快速的各种角度靶材磨斜边加工；具有精度好，效率高的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种磨斜边设备，特别涉及一种可调角度靶材磨斜边机。

背景技术

部分TFT靶材为了减少镀膜时产生颗粒，会将靶材的边缘制作成斜面，并处理成粗糙面，用于吸附回溅物。由于每个厂家的设备和工艺磁场范围不一样，所以斜面的大小和角度也不一样。靶材生产厂家是通过制作不同角度的工装进行机械或人工的打磨，精度差，效率低。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种可调角度靶材磨斜边机，该靶材磨斜边机可对靶材在0-180度的范围内进行各种角度磨斜边，精度好，效率高，解决了上述现有技术中存在的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种可调角度靶材磨斜边机，包括工作台、机架、Y轴电动滑台、X轴电动滑台和两个Z轴电动滑台，所述Y轴电动滑台安装在机架上，工作台滑动安装在Y轴电动滑台上，X轴电动滑台安装在位于Y轴电动滑台一侧的机架上，一个Z轴电动滑台滑动安装在X轴电动滑台上，另一个Z轴电动滑台安装在位于Y轴电动滑台另一侧的机架上，两个Z轴电动滑台上均设置有电动旋转轴，电动旋转轴上安装有磨头电机，磨头电机上安装有磨头。

所述机架是由横向架和纵向架构成的十字形架，Y轴电动滑台安装在纵向架上，X轴电动滑台安装在位于Y轴电动滑台一侧的横向架上，一个Z轴电动滑台滑动安装在X轴电动滑台上，另一个Z轴电动滑台安装在位于Y轴电动滑台另一侧的横向架上。

所述工作台中部具有用于放置工件的凸台，工作台边缘具有挡板。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型的磨头电机是通过电动旋转轴安装在Z轴电动滑台上，通过电动旋转轴的转动可以调节磨头电机的磨斜边角度，再配合Y轴电动滑台、X轴电动滑台、Z轴电动滑台，可以在0-180度范围内精确控制磨斜边角度，实现精确快速的各种角度靶材磨斜边加工。

2、与现在采用工装进行靶材磨斜边的方式相比，本实用新型的加工效率明显提高，且精度也更高。

下面结合附图和实施例对本实用新型之一种可调角度靶材磨斜边机的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1：本实用新型之可调角度靶材磨斜边机立体图。

图2：本实用新型之可调角度靶材磨斜边机俯视图。

图3：本实用新型之可调角度靶材磨斜边机主视图。

图4：本实用新型之可调角度靶材磨斜边机右视图。

图中：1- Z轴电动滑台Ⅰ，2- Z轴电动滑台Ⅱ，3- X轴电动滑台，4-磨头电机，5-电动旋转轴，6-磨头，7-工作台，71-凸台，72-挡板，8-Y轴电动滑台，9-机架，91-纵向架，92-横向架。

P表示待磨边靶材。

具体实施方式