[实用新型]阀门及吸盘

说明书

本实用新型提供一种阀门及吸盘，其中，所述吸盘包括：活塞缸，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构；位于所述腔体中的活塞杆，所述弹性结构位于所述缸体底部和活塞杆之间，所述活塞杆包括相邻的第一杆区和第二杆区，所述第一杆区用于隔离第一通孔和第二通孔，所述第二杆区用于连通第一杆区和第二杆区。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，尤其涉及一种阀门及吸盘。

背景技术

在晶圆加工或检测过程中，经常需要将晶圆固定于加工装置上，从而方便对晶圆的加工。

现有半导体加工工艺中，固定晶圆的方式主要由以下三种：第一，通过夹持头对晶圆进行夹持，从而固定晶圆；第二，通过静电吸附作用将晶圆固定于加工装置上；第三，采用真空吸附的方式来固定晶圆。其中，真空吸附的方式能够使晶圆受力均匀，不容易损伤晶圆，且真空吸附对环境的要求低。因此，通过真空吸附固定晶圆的方式应用较广泛。

现有的晶圆的直径为8寸或12寸。为了能够使吸盘能够固定两种尺寸的晶圆，往往将吸盘的吸附面分为两个区域，在两个区域中均形成沟槽。并通过两套真空装置分别对两个区域的沟槽进行抽真空。

然而，现有的吸盘结构复杂、成本较高，且抽气管较多，抽气管容易缠绕。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是提供一种阀门及吸盘，能够简化吸盘结构，降低成本，并抑制抽气管相互缠绕。

为解决上述问题，本实用新型提供一种阀门，包括：活塞缸，包括缸体，所述缸体的底部和侧壁围成腔体，缸体侧壁中具有分离的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述腔体连通，所述第二通孔与所述腔体连通；位于所述腔体中的弹性结构；位于所述腔体中的活塞杆，所述弹性结构位于所述缸体底部和活塞杆之间，所述活塞杆包括相邻的第一杆区和第二杆区，所述第一杆区用于隔离第一通孔和第二通孔，所述第二杆区用于连通第一杆区和第二杆区。所述阀门结构简单，能够通过所述弹性结构顶部的压力自动调节阀门的开启和关断。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：

本实用新型技术方案提供的阀门中，所述阀门包括弹性结构和活塞杆。当弹性结构受到压力的作用时能够发生变形，从而使第二杆区位于所述第一通孔和第二通孔之间，使所述第一通孔和第二通孔导通，进而使所述阀门开启；当所述活塞杆顶端不具有压力时，所述第一杆区位于所述第一通孔和第二通孔之间，从而能够断开所述管道。综上，所述阀门能够根据弹性结构定的压力自动调节所述阀门的开启和关断，且所述阀门结构简单。

进一步，所述阀门还包括活塞缸，所述活塞缸中具有第一凹槽和第二凹槽。在沿垂直于所述吸附面的方向上，所述第一凹槽的尺寸大于所述管道的尺寸，所述第二凹槽的尺寸大于所述管道的尺寸，则当所述阀门开启时，所述第一凹槽和第二凹槽能够增加管道中气流进出阀门的截面积，增加抽真空处理的效率。

本实用新型技术方案提供的吸盘中，所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道连通，且所述盘体中具有阀门，所述阀门能够控制所述管道的导通与断开。当弹性结构受到待吸附物的压力作用时能够发生变形，能够使第二杆区位于所述阀门两侧的管道之间，进而使所述阀门两侧的管道贯通；当所述活塞杆顶端不具有待吸附物时，所述第一杆区位于所述阀门两侧的管道之间，从而能够断开所述管道。综上，所述阀门能够根据待吸附物的位置自动调节所述阀门的开启和关断。

附图说明

图1至图5是本实用新型的阀门一实施例的结构示意图；

图6和图7是本实用新型的吸盘一实施例的结构示意图。

具体实施方式

阀门存在诸多问题，例如：阀门结构复杂、体积较大。